Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centura #293663175 zu verkaufen

AMAT Centura Chamber ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für eine Vielzahl von Anwendungen wie Dünnschichtsolarzellen, Speichergeräte, Anzeigetechnologie und Photovoltaikzellen verwendet wird. Die Kammer besteht aus einer Reaktionskammer, einer Quellkammer, einer Parameterkammer und einer Kammer mit kontrollierter Atmosphäre. Die Reaktionskammer enthält den Substrathalter und ist der größte Bestandteil der Kammer. Es wird durch eine Infrarotlampe mit einem einstellbaren Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 350 Grad Celsius beheizt. Die Kammer ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt und kann je nach Kammergröße bis zu 800 Substrate gleichzeitig verarbeiten. Es hat ein Quarzfenster auf der Oberseite, um die Anzeige des Abscheidungsprozesses zu ermöglichen. Die Quellkammer dient zum Einbringen der notwendigen Reaktanden zur Abscheidung und befindet sich unterhalb der Reaktionskammer. Es enthält einen Injektor und wird bis zu 250 Grad Celsius erhitzt, um die Reaktanden verdampfen zu lassen. Die erhitzten Reaktandendämpfe gelangen aus der Quellkammer in die Reaktionskammer, wo sie dann auf das Substrat abgeschieden werden. Die Parameterkammer dient zur Überwachung und Steuerung des Abscheideprozesses und wird von Raumtemperatur auf 250 Grad Celsius temperiert. Schließlich verwaltet die Regelatmosphärenkammer während des Abscheideprozesses die Atmosphäre in der Kammer und kann von inerten auf aktive Atmosphären umgeschaltet werden. Dies ist wichtig, um gleichbleibend hohe Qualität und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Chamber ist ein fortschrittlicher CVD-Reaktor, der für hohe Leistung und Wiederholbarkeit bei Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Durch die vielseitige und präzise Steuerung des Abscheideprozesses ist die Kammer zu einem wertvollen Werkzeug für Designer auf der ganzen Welt geworden.