Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL #293660732 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL
ID: 293660732
Wafergröße: 12"
12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Kammer für Endura CL ist ein speziell entwickelter Reaktor, der für die Anwendung von chemischer Dampfabscheidung oder CVD in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Diese Hochleistungskammer bietet eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten, sodass Chiphersteller zuverlässige und langlebige Halbleiter erstellen können. Diese Reaktorkammer verfügt über eine intensive Gasströmungsanlage und fortschrittliche thermische Steuerungssysteme, die eine optimale und präzise Steuerung des Abscheidungsprozesses ermöglichen. Diese Systeme ermöglichen eine präzise Temperatur- und Druckregelung, chemische Konsistenz und minimale Kontamination. Die Edelstahl-Kammer verfügt auch über eine isolierte Dual-Plenum-Design, so dass die Notwendigkeit für ein Gebläse. Dadurch werden Drücke reduziert. Die AMAT-Kammer für Endura CL verwendet außerdem ein Multi-Zone-Verfahren, das sicherstellt, dass jede Prozesszone ordnungsgemäß mit den richtigen Umgebungs-, Liefer- und Kontrollprotokollen ausgestattet ist. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Abscheiderate und einen vorhersagbaren Prozess. Die Kammer verfügt auch über eine erweiterte Duschkopfkonstruktion, um homogene plattenparallele und gasförmige Verteilungen zu gewährleisten, sowie eine 16-Profil-Plasmabogendüse zur gleichmäßigen Verteilung von Vorstufen. Die Kammer hat eine Gesamtkammergröße von 6,8 (Länge) x 5,2 (Breite) x 6 (Höhe) Fuß und ein Gewicht von 9.500 lbs. Es kann in zwei alternativen Konfigurationen montiert werden, entweder In-Line oder Standalone, und ist für einfache Wartungsfreundlichkeit mit erweitertem Zugang durch mehrere Anschlüsse und Diagnosepaneele ausgelegt. APPLIED MATERIALS Kammer für Endura CL hat seine Sicherheit mit dem exklusiven Under Pressure Enhanced Safety System bewiesen. Dadurch wird verhindert, dass Kammerüberdruckereignisse den Betriebsbereich verlassen sowie die Vakuumeinheit und Kammerkomponenten geschützt werden. Das Gesamtdesign von Chamber for Endura CL macht es zu einem wertvollen Werkzeug für die Herstellung von Hochleistungsspänen. Seine anspruchsvollen Konstruktionen und Technologien machen es zur Maschine für chemische Dampfabscheidungsprozesse zu schlagen.
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