Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293621288 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 ist ein vielseitiger Reaktor, der für eine Vielzahl von Abscheide- und Ätzanwendungen ausgelegt ist. Es verfügt über eine große Vakuumkammer mit einem Durchmesser von 18 Zoll und einer Länge von 24 Zoll. Die Kammer kann einen Basisdruck von weniger als 5,0 x 10-9 Torr erreichen, wenn sie mit dem entsprechenden Pumpsystem gepaart wird. Es ist auch mit einem automatisierten Abhebekappenspülsystem ausgestattet, um Ausgasungen zu minimieren und die Verarbeitungsergebnisse zu verbessern. AMAT P5000 Chamber ist mit einem Prozessgaseinführungssystem (PGIS) ausgestattet, das bis zu drei vollsteuerbare Ventile mit unabhängigen Durchflussregelungen und Mischventilen bereitstellt. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle von Abscheide- und Ätzprozessen und ermöglicht so mehrere Prozessrezepte für unterschiedliche Materialien und Anwendungen. Die Kammer verfügt auch über elektromagnetische (gepulste) Plasmaquelle und schnelle rechnergesteuerte Plasmasysteme (RPC), die verwendet werden können, um fortschrittliche Plasmaprozesse zu schaffen und gleichzeitig eine überlegene Gleichmäßigkeit und Prozesskontrolle zu gewährleisten. Die AMAT-Kammer für P5000 ist auch mit Mehrzonen-Heiz- und Kühlfunktionen ausgestattet, die eine engmaschige Prozesskontrolle ermöglichen. Es umfasst mehrere Dual-Molybdän-Heizungen und Quarzkammerwände für thermische Stabilität, sowie Kühlwasseranschlüsse, um die Kammertemperatur während Hochleistungsprozessen zu halten. Die P5000-Kammer ist für eine einfache Wartung und längere Lebensdauer bei minimalen Ausfallzeiten ausgelegt. Es enthält einen in sich geschlossenen Kammermonitor zur Überwachung der Abscheidungsgleichmäßigkeit und der Prozesskammerfunktionalität. Die Kammer umfasst auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie einen großen externen CCD-Viewport, einen Ionenmesser und zahlreiche Sicherheitsverriegelungen. Durch die Kombination der fortschrittlichen Technologie in APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 mit seinem breiten Spektrum an Prozessrezepten und Präzisionsbearbeitungsfähigkeiten ist es eine ideale Wahl für Materialabscheidungs- und Ätzanwendungen. Mit seiner gut gestalteten Struktur sorgt er für eine effiziente und zuverlässige Materialverarbeitung.