Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293634885 zu verkaufen

ID: 293634885
AMAT (APPLIED MATERIALS) P5000 Chamber ist ein Single-Wafer-Batch-Reaktor, der eine präzise Kontrolle von Abscheidungsflüssigkeiten über einen weiten Temperaturbereich hinweg ermöglicht. Die Kammer weist eine hochmoderne Konstruktion auf, die Partikelverunreinigungen reduziert und Ungleichmäßigkeiten durch Beibehaltung eines extrem niedrigen Temperaturprofils innerhalb des Reaktors vermeidet. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber beinhaltet eine Hochleistungs-Hochtemperaturheizung zur präzisen Temperaturregelung. Dieses Heizsystem besteht aus einem gleichmäßigen, dünnschichtigen keramischen Heizelement, einer hochdichten keramischen Isolierschicht und einer Verdampfungsgaseinheit zur Lieferung des gewünschten Temperaturprofils. Die Gleichmäßigkeit des Temperaturprofils der Kammer wird durch eine Gleichstromversorgung aufrechterhalten, die sowohl die Temperatur des Heizelements als auch die Menge des Prozessgases genau regelt. AMAT P5000 Chamber umfasst automatisierte Funktionen, die eine präzise Prozessüberwachung, -steuerung und Datenprotokollierung ermöglichen. Die Kammer umfasst einen Be- und Entladeroboter, eine HF-Lastschloßmaschine, ein automatisiertes Ventilwerkzeug und einen automatisierten Kammerdruckregler, um eine präzise Steuerung und Gleichmäßigkeit der Bearbeitungsparameter zu gewährleisten. Ein vorlagenbasiertes Computersteuerungssystem ermöglicht es den Betreibern, Prozessbedingungen schnell und einfach einzurichten und zu überwachen. Die inerte Platinkammer der Kammer verfügt über eine robuste Kammertür mit einer luftdichten Dichtung, die das Risiko einer Kontamination während der Verarbeitung minimiert. Seine Edelstahl Innenwände und Boden bieten ausgezeichnete Wärmeübertragung und widerstehen chemische Reaktion mit dem Prozessgas oder Abscheidungsflüssigkeit. Die Kammer ist mit zwei Öffnungen, einer für die Abscheidungsflüssigkeit und einer für das Abgas, ausgebildet, um eine präzise Steuerung der Prozessumgebung zu gewährleisten. Das Umweltüberwachungsmodell der Kammer stellt sicher, dass Änderungen der Gaskonzentrationen oder des Drucks schnell und genau überwacht werden. Diese Ausstattung umfasst mehrere Sensoren und Monitore, die eine präzise Steuerung der Prozessumgebung ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Kammer enthält auch ein hocheffizientes Luftfiltersystem, um die Prozessumgebung vor unerwünschten Kontaminationen zu schützen. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber ein leistungsstarker Einzelwafer-Chargenreaktor, der für eine präzise Abscheidung in einer Vielzahl von Anwendungen ausgelegt ist. Das hochmoderne Design bietet eine präzise Temperaturregelung, eine automatisierte Prozessüberwachung und -steuerung sowie eine Umweltüberwachungseinheit, um kontaminationsfreie Prozesse zu gewährleisten. Diese Kammer ist eine ausgezeichnete Wahl, um hochpräzise Ablagerungen zu erzielen.
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