Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293653986 zu verkaufen

AMAT P5000 Chamber ist ein Halbleiterbearbeitungswerkzeug zur Entwicklung und Herstellung fortschrittlicher Wafer-Level-Bauelemente. Es handelt sich um einen polygonalen Plasmareaktor, der Hochleistungs-Vakuumabscheidungsprozesse steuern kann. Die P5000-Kammer bietet fortschrittliche Funktionen wie eine große Prozesskammer, eine ausgezeichnete thermische Kontrolle, eine einheitliche Plasmaverteilung und einen sicheren und effizienten Betrieb. Der große Innenraum ermöglicht den Prozess großer Substrate, wie 300mm und 450mm Wafer. Die thermische Steuerung erfolgt durch ein innovatives Design mit individuell isolierten heißen und kalten Platten, die auch elektronisch vorkonditioniert werden können, um eine gleichmäßige Substrattemperatur zu gewährleisten. Eine gleichmäßige Plasmaverteilung wird durch eine mehrzonige magnetisch verbesserte HF-Kammer und eine hochdichte Duschkopfelektrode gewährleistet. Die P5000 Kammer unterteilt den Kammerraum in fünf verschiedene Zonen, um das Risiko von Substratschäden durch Verschmutzung zu minimieren. Es verfügt auch über eine neue Plasma-Line-Generator-Technologie, so dass die Kammer ein homogenes Plasma für einen hohen Durchsatz Prozess zu halten. Die Kammer ist auch mit einer vollen Luftschleuse ausgestattet, um Verschmutzungen zu reduzieren und einen effizienten Betrieb zu ermöglichen. Die Kammer kann reine Oxide, Nitride, Carbide und feuerfeste Metalle herstellen. Es ist mit einer achteckigen Plasmaquarzquelle, einer indiumgedruckten induktiv gekoppelten Plasmaquelle und einer verbesserten Elektronenzyklotronresonanzquelle ausgestattet, die die höchste Abscheidungsgenauigkeit liefert. Sie eignet sich besonders für III-V-Geräte wie Galliumarsenid, Galliumnitrid und Aluminiumgalliumarsenid (GaAs/GaN/AlGaAs). ANGEWANDTE MATERIALIEN P5000 Kammer soll eine sichere und zuverlässige Umgebung für hochpräzise Geräteproduktion und Forschung bieten. Es kombiniert eine große Prozesskammer mit einer intuitiven Benutzeroberfläche, fortschrittlicher Plasma- und Wärmesteuerung und zuverlässiger Kontaminationskontrolle. Dadurch wird eine qualitativ hochwertige Fertigung in einem kostengünstigen und effizienten Prozess sichergestellt.