Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9204032 zu verkaufen
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ID: 9204032
Wafergröße: 6"
6"
Stand-alone
Pneumatic manifold P/N: 0010-09263
Process: Oxide etch (CF4 / C2F6).
AMAT P5000 Reaktor ist eine Source-Deposition-Kammer, die in verschiedenen Halbleiterabscheidungsprozessen verwendet wird. Es ist eine der vielseitigsten und benutzerfreundlichsten Abscheidekammern auf dem Markt. Das P5000 ist eine gute Wahl bei der Suche nach einer zuverlässigen und effizienten Maschine zur Optimierung der Dicke, Gleichmäßigkeit und Kontrolle der Folieneigenschaften. Die fortschrittliche Prozesskontrolle des P5000 bietet überlegene Prozessstabilität, Prozesswiederholbarkeit und eine außergewöhnliche Kontrolle der strukturellen und kompositorischen Filmeigenschaften. Es verfügt über einen DDT-Prozesskopf (Direct Drive Throttle), der eine präzise Hin- und Herbewegung des Substrats während des Abscheidungsprozesses ermöglicht. Dadurch wird eine Gleichmäßigkeit und eine gleichmäßige Foliendicke über den gesamten Wafer gewährleistet. Das P5000 verfügt über eine eingebaute Gasförderanlage, die bis zu 3 verschiedene Gase mit jeweils einem eigenen Durchflussmesser unterstützt. Dieses System ermöglicht eine präzise Steuerung und Vermischung von Gasen und ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle, die zu hochwertigen Folien führt. Darüber hinaus soll die P5000 sicherstellen, dass die Verunreinigungen in der Kammer durch ihre in sich geschlossene Filtrationseinheit, die potentielle Partikel innerhalb der Kammer herausfiltert, möglichst gering gehalten werden, bevor sie das Substrat erreichen. Die P5000 bietet auch eine Reihe von erweiterten Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer einzigartigen On-Board-Diagnostik (OBD) Maschine. Dieses Tool überwacht sowohl Kammer- als auch elektrische Komponenten laufend und liefert detaillierte Rückmeldungen und Echtzeit-Prozessdaten, Alarme und Berichte. Der P5000 hat sich aufgrund seiner Leistung, Zuverlässigkeit und benutzerfreundlichen Schnittstelle zu einer Spitze des Leitungsreaktors entwickelt. Die P5000 entspricht nicht nur den Prozessanforderungen, sondern kann auch verwendet werden, um Folien für eine Vielzahl von Anwendungen anzubauen, die es zu einer großen Auswahl für eine Vielzahl von Anwendern machen. Es sei darauf hingewiesen, dass die P5000 in Bereichen mit guter Belüftung verwendet werden sollte, da die verbesserte Effizienz des Verfahrens zu mehr Nebenprodukten und Emissionen führen kann.
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