Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura eMax #293664215 zu verkaufen

AMAT Centura eMax ist eine Kammer zur Bearbeitung von Wafern. Es ist eine zuverlässige und robuste Ausrüstung, die eine breite Palette von Prozessfähigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Diese Kammer verfügt über einen Basisdruck von 1,0 x 10-6 Torr und kann leicht eine große Auswahl an Wafern von bis zu 8 Zoll Durchmesser aufnehmen. Die eMax-Kammer besteht aus einer Aluminium-Grundplatte mit integriertem Waferheizer, einer Deckplatte, einer Fluchtöffnung und dem elektrostatischen Spannfutter. Die Stromversorgung, der Temperaturregler und der Waferlader und der Entlader sind alle Teil des integrierten Systems. Die Wafer-Heizung sorgt für eine stabile Temperatur des Wafers mit maximal 250 ° C und ermöglicht eine breite Palette exotischer Prozesse. Die eMax-Kammer verwendet eine einzigartige elektrostatische Spanneinheit, um eine gleichmäßige, gleichmäßige Anwendung der elektrostatischen Kraft über die Oberfläche des Wafers zu ermöglichen. Dies ermöglicht ein außergewöhnliches Maß an Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit, da sichergestellt ist, dass der Wafer während des Prozesses sicher gehalten wird. Darüber hinaus umfasst die Maschine auch ein automatisiertes Gasförderwerkzeug zur präzisen Steuerung der In-situ-Prozessumgebung. Dadurch wird sichergestellt, dass die Kammer auf der erforderlichen Temperatur und dem erforderlichen Druck gehalten wird und dass das entsprechende Gasgemisch für den Prozess zur Verfügung steht. Das zweidimensionale Wafer-Zentrierelement sorgt dafür, dass die Wafer während der Verarbeitung immer zentriert sind, wodurch Waferstabilität und maximale Gleichmäßigkeit gewährleistet sind. Der integrierte Dosisregler bietet eine schnelle und genaue Dosismessung und -kontrolle. Schließlich ist die Kammer benutzerfreundlich und kann leicht gewartet werden. Das fortschrittliche Überwachungsmodell und die Benutzeroberfläche machen es einfach, Echtzeitdaten anzuzeigen und bei Bedarf Korrekturmaßnahmen zu ergreifen. Die Oberfläche ist auch anpassbar, so dass sie auf die individuellen Bedürfnisse des Benutzers zugeschnitten werden kann. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Centura eMax-Kammer ist eine zuverlässige und robuste Ausrüstung für die Waferbearbeitung. Seine breite Palette an Funktionen, seine Wiederholbarkeit und seine Benutzerfreundlichkeit machen es zu einem idealen System für jede Anwendung.