Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CPI-VMO Chamber Endura PVD #9214657 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CPI-VMO Chamber Endura PVD ist ein Hochleistungs-Werkzeug zur physikalischen Dampfabscheidung (PVD) für Sputter-, Verdampfungs-, RTP-, Ätz- und Ionenimplantationsanwendungen. Die Ausrüstung ermöglicht eine vielseitige Verarbeitung in einer automatisierten Kammer, die beispiellose Prozesswiederholbarkeit und wiederholbare Gleichmäßigkeit der Schichtdicke über große Waferbereiche bietet. Dieses Tool ist speziell für die fortschrittliche Materialentwicklung und Prozessanalyse konzipiert. AMAT CPI-VMO Chamber Endura PVD enthält standardmäßig eine VMO-Magnetron-Quelle, einen Multizonen-Suszeptor und einen Mehrzonen-Hitzeschild. Der VMO Magnetron Quelle ist ein singlebeendeter, Horatenspritzenquelle, die durch eine Hochspannung, AC-Hochfrequenzstromversorgung gesteuert ist. Die VMO-Magnetron-Quelle bietet eine gleichmäßige Sputterrate über den Waferbereich, indem Mediendecks für einen niedrigen Eingangsleistungsbetrieb während der Langzeitabscheidung verwendet werden. Der Mehrzonen-Suszeptor ist so konzipiert, dass er wahlweise den Zielbereich erwärmt oder kühlt, um Rückstreuungen oder Nachsputtern zu verhindern. Zusätzlich weist der Mehrzonen-Suszeptor einstellbare Druckausgleichsgetriebe auf, die bei der Prozesssteuerung und gleichmäßigen Erwärmung helfen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CPI-VMO Kammer Endura PVD enthält auch Mehrzonen-Hitzeschilde für eine verbesserte Plasmabehandlung und einheitliche Abscheidungsraten über ein breiteres Prozessfenster. Die Mehrzonen-Hitzeschilde verfügen über einstellbare Leitbleche und einen Reaktorwandschutz, der eine präzise Steuerung des Abscheideflusses innerhalb des Werkzeugs ermöglicht. Darüber hinaus umfasst CPI-VMO Chamber Endura PVD eine fortschrittliche, Echtzeit-automatisierte Steuerung mit multivariabler Prozessanalyse. Echtzeit-Überwachung und papierlose TQM-Einheit bieten Feedback zur Prozessleistung in Echtzeit. Die bordeigene leistungsstarke Steuerungsmaschine verfügt auch über Prozessmodellierung, Gatekeeper-Qualitätssicherungswerkzeug und automatische Feinabstimmungsoptimierung für die Echtzeit-Prozessoptimierung. AMAT/APPLIED MATERIALS CPI-VMO Chamber Endura PVD ist auf Zuverlässigkeit und Langzeitleistung mit jahrelangem Sputtern ausgelegt. Mit einer einzigartigen Kombination aus Features und Technologie ist dieses Werkzeug gebaut, um hochwertige Folien schnell und effizient zu produzieren. AMAT CPI-VMO Chamber Endura PVD ist die ideale Wahl für diejenigen, die eine langfristige, zuverlässige und energieeffiziente PVD-Lösung für Produktions- und Analysebedürfnisse suchen.