Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPN #148641 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN ist ein Werkzeug zur Herstellung integrierter Schaltungen (ICs). Es ist eine Art Plasmareaktor, der zur Bildung von dielektrischen Filmen auf Siliziumscheiben verwendet wird. AMAT DPN besteht aus vier Komponenten; eine Vakuumkammer, einen Hochfrequenz (RF) -Plasmagenerator, eine Elektrode und eine Rezeptsteuerung. Die Vakuumkammer ist ein zylindrisches Gefäß mit einem Innendurchmesser von typischerweise zwischen 0,35 und 2,13 Metern. Es besteht aus Edelstahl und ist typischerweise mit einer Öldiffusionspumpe vakuumdicht. Es hält das Substrat, das typischerweise ein Siliziumwafer ist, während des Abscheidungsprozesses. Der HF-Plasmagenerator dient zur Erzeugung der für den Abscheidungsprozess benötigten positiv geladenen Ionen und Elektronen. Dieser HF-Generator erzeugt eine hochfrequente (HFRF) Wellenform, die einer Antenne zugeführt wird, die in die Vakuumkammer eingesetzt ist. Diese Wellenform wird moduliert, um die Strömung ionisierter Partikel, die zur Abscheidung des gewünschten Materials auf dem Wafer verwendet werden, zu lenken. Der Generator wird mit einigen verschiedenen Komponenten versorgt, darunter eine Hochspannungsversorgung, ein Wellenformgenerator und ein Wellenformmonitor. Die Elektrode ist innerhalb der Vakuumkammer montiert und besteht aus Aluminium, Wolfram oder Kupfer. Die Form und Größe der Elektrode variiert je nach Art der ablaufenden Abscheidung. Beispielsweise wird für Diffusionsanwendungen typischerweise eine planare Elektrode verwendet, während für Anwendungen mit chemischer Dampfabscheidung (CVD) eine ringförmige Elektrode verwendet wird. Der Rezept-Controller ist ein Computersystem, das die während des Abscheidungsprozesses verwendeten Parameter steuert. Dazu gehören der Zeitpunkt und die Intensität der HFRF-Wellenform, der Elektrodenleistungspegel und -temperatur, die Temperatur und der Druck innerhalb der Vakuumkammer sowie die Pulsfrequenz der Abscheidung. Es ist dafür verantwortlich, dass der Ablagerungsprozess genau und in Übereinstimmung mit den Anforderungen des Kunden erfolgt. Abschließend ist APPLIED MATERIALS DPN ein Werkzeug zur Herstellung integrierter Schaltungen. Es besteht aus vier Komponenten; eine Vakuumkammer, einen HF-Plasmagenerator, eine Elektrode und eine Rezeptsteuerung. DPN erzeugt positiv geladene Ionen und Elektronen, mit denen ein dielektrischer Film auf einem Substrat, typischerweise einem Siliziumwafer, abgeschieden wird. Mit Hilfe des Rezeptsteuergerätes wird der Abscheidevorgang exakt gesteuert, um eine Materialschicht auf dem Wafer nach Kundenwunsch herzustellen.