Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa #9271010 zu verkaufen

ID: 9271010
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa ist ein Hochtemperaturreaktor, der speziell für die Abscheidung von dünnen Schichten in der Halbleiter- und Optoelektronik entwickelt wurde. Dieser Reaktor basiert auf dem Prinzip der chemischen Dampfabscheidung (CVD) und nutzt einen Heißdrahtansatz zur Herstellung von Einkristallfolien. Die Ausrüstung bietet ein außergewöhnliches Maß an Kontrolle, so dass der Bediener sehr gleichmäßige Beschichtungen mit ausgezeichneten Hafteigenschaften erstellen kann. Das CVD-Verfahren findet in einem quenchfesten Quarzrohr statt, wodurch es für die Verträglichkeit mit einer Vielzahl von inerten und korrosiven Gasen geeignet ist. AMAT DPS G5 Mesa ist ein vollautomatischer Halbleiterreaktor und kann Temperaturen von bis zu 1200 ° C erreichen. Es ist mit einem komplizierten Temperaturkontrollsystem und fortschrittlichen thermodynamischen Sensoren ausgestattet, um ein einheitliches Wärmemanagement während des gesamten Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. Der Reaktor kann in einem kontinuierlichen Betrieb oder in einem gepulsten Betrieb mit der Fähigkeit betrieben werden, Abscheidungsgeschwindigkeitsparameter einzustellen, um die Leistung des Reaktors genau abzustimmen. Es ist auch mit einer Maskiereinheit ausgestattet, die das Umschalten zwischen unterschiedlichen Abscheideraten oder auch das Abscheiden verschiedener Materialien in verschiedenen Bereichen des Quarzrohres erleichtert. Neben dem herkömmlichen CVD-Verfahren unterstützt APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa auch eine Vielzahl fortschrittlicher Verfahren wie Multifilm-Abscheidung, Ionenbeschuss, Sputtern, Puls-Plasma-Abscheidung und Verdampfung. Diese Verfahren haben eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie, von der Oberflächenmodifizierung über Dielektrika, Leiter, 3D-Nanostrukturen bis hin zu optoelektronischen Materialien. DPS G5 Mesa bietet auch eine breite Palette von Sicherheitsfunktionen, einschließlich automatischer Druck- und Temperaturkontrollen, Lecksuche und Notabschaltung. Um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten, ist die Maschine mit einer Vielzahl von eingebauten Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Diese Eigenschaften, kombiniert mit der reinraumartigen Vakuumumgebung, die von der Einheit bereitgestellt wird, machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl fortschrittlicher Materialabscheidungsprozesse.
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