Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DxZ #9218980 zu verkaufen

ID: 9218980
System (3) Chambers Wide body.
AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor ist ein fortschrittliches Metall-Oxid-Plasmaätzwerkzeug, das speziell für die Herstellung genauer und präziser metallurgischer Strukturen entwickelt wurde. AMAT DxZ Reactor wurde entwickelt, um ein effizientes, hochdichtes Plasmaätzen von Materialien wie Aluminium, Kupfer und anderen Oxiden für die Herstellung komplizierter metallurgischer Strukturen zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN DxZ Reaktor verwendet die Anwendung von Gleichspannung (DC) an einem Niederdruck-Plasma auf Wasserstoffbasis. Die Gleichspannungsleistung wird durch einen Oszillator erzeugt, der zyklisch hochfrequente (HF) und niederfrequente (LF) Wellen koppelt und Anpassungen an Größe, Form und Dichte des Ätzes ermöglicht, während eine hochgleichmäßige Verteilung von Ionen und Radikalspezies während des gesamten Prozesses aufrechterhalten wird. Die Kombination von HF- und LF-Wellen führt zu einem effizienten Ätzprozess mit verbesserter Ätzgleichmäßigkeit und höherer Ätzrate als bei Einzelfrequenzprozessen. DxZ Reactor wird von einem fortschrittlichen Prozessleitsystem gesteuert, das Rückkopplungssignale verwendet, um die Leistungsstufen und Gasdurchflussraten für eine verbesserte Kontrolle der geätzten Materialien anzupassen. Das Feedback liefert Echtzeitdaten zur chemischen Natur des Ätzprozesses und trägt dazu bei, dass die gewünschte metallurgische Struktur jedes Mal erreicht wird. Darüber hinaus kann der AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor auch automatisiert werden, um vollständig wiederholbare Ätzungen an einheitlichen Proben bereitzustellen. AMAT DxZ Reactor ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, einschließlich ein- oder mehrlagiger Stapel, perforierter Strukturen und Mikromerkmale, so dass die Herstellung von komplizierten Mustern und Strukturen. Neben Ätzoperationen ist der APPLIED MATERIALS DxZ Reactor auch in der Lage, Passivierungsoperationen, Dünnschichtabscheidung und Mustertransfer durchzuführen. Diese Fähigkeiten machen DxZ Reactor zu einem unschätzbaren Werkzeug für die metallurgische Forschung und Produktion von metallurgischen Mikrostrukturen. Analytical Tools, geeignet für die elementspezifische Ausbildung, wie SEM-Bildgebung und EDX-Spektroskopie, können auch zur Analyse der X-Y-Ätzproben verwendet werden. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor ein fortschrittliches Metall-Oxid-Ätzwerkzeug, das speziell für die Herstellung komplizierter metallurgischer Strukturen entwickelt wurde. AMAT DxZ Reactor verwendet eine Kombination aus HF- und LF-Wellen, um eine effiziente Ätzrate bei verbesserter Gleichmäßigkeit zu erreichen. Der Reaktor wird von einem fortschrittlichen Prozessleitsystem gesteuert und kann auch für wiederholbare Proben automatisiert werden. Darüberhinaus ist der APPLIED MATERIALS DxZ Reactor in der Lage, Passivierungsoperationen, Dünnschichtabscheidung und Mustertransfer durchzuführen. Diese Eigenschaften machen DxZ Reactor zu einem unschätzbaren Werkzeug für die metallurgische Forschung und Herstellung komplexer Strukturen.
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