Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Electra #9088658 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Electra ist ein großflächiger CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition) aus der Familie der effizienten Dünnschichtabscheidungssysteme. Dieser vielseitige Reaktor ist darauf ausgelegt, eine Vielzahl von Materialschichten, einschließlich Metallen, Oxiden, Nitriden und Karbiden, auf starren und flexiblen Substraten wie Glas, Folie, Keramik und Polymeren abzuscheiden. Die effiziente Leistung von AMAT Electra wird durch integrierte Prozesssteuerungsfunktionen wie automatisiertes Wafer-Handling, Echtzeit-Tuning und In-situ-Prozessüberwachung erreicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Electra verwendet drei primäre Komponenten, um ultradünne Filme auf Substratoberflächen abzuscheiden: eine geschlossene Gasströmungsanlage, eine Turbomolekularpumpe und eine Niederdruckvakuumkammer. Das geschlossene Gasstromsystem enthält eine Kombination von Gasein- und -auslässen, die sowohl für den Gasein- als auch für den Abgasstrom ausgelegt sind. Diese Einheit liefert eine genaue, kontinuierlich kontrollierte Zufuhr von Gasen zu Electras Reaktionskammer. Die Turbomolekularpumpe ist ein unabhängiges Teilsystem, das mit der Reaktionskammer verbunden ist und deren Zweck darin besteht, die Kammer in einen für die CVD-Verarbeitung geeigneten Druckbereich zu evakuieren. Schließlich ist die Niederdruckkammer ein Isolator mit einer integrierten Abgasmaschine, die unabhängige Isolationskammern enthält. AMAT/APPLIED MATERIALS Electra-Reaktor ist in der Lage, eine breite Palette von Materialschichten auf einem breiten Spektrum von Substratmaterialien abzuscheiden. Dieses Werkzeug bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Folie mit einem Gleichmäßigkeitsindex (gemessen in Bezug auf Reflexion High-Energy Electron Diffraction) von besser als 4E-04. Auf AMAT Electra können verschiedene Folien untersucht werden, wie Metalloxide, nitrierte Folien und Mehrschichtsysteme. Die Vielseitigkeit dieses Reaktors wird durch die Flexibilität zur Bildung unterschiedlicher Oberflächenmorphologie, die je nach Kundenwunsch angepasst werden kann, weiter gesteigert. APPLIED MATERIALS Electra bietet auch eine breite Palette von Funktionen zur Prozessoptimierung und -steuerung. Die Echtzeit-Tuning-Funktion ermöglicht die Optimierung des Abscheideprozesses unter verschiedensten Bedingungen. Darüber hinaus ermöglicht die In-situ-Überwachung den Bedienern, die Rezeptparameter in Echtzeit zu überwachen, wodurch Probleme schnell und effizient diagnostiziert werden können. Die automatisierte Wafer-Handhabung hilft auch, Ausfallzeiten zu minimieren und den Durchsatz zu maximieren. Abschließend ist Electra ein fortschrittliches CVD-Asset, das die Möglichkeit bietet, ultradünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten abzulegen. Die Eigenschaften von AMAT/APPLIED MATERIALS Electra, wie sein breites Spektrum an Gasströmen und Prozessoptimierung, ermöglichen einen kontinuierlichen und automatisierten Betrieb für eine effiziente Abscheidung. AMAT Electra eignet sich für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen wie Metalloxide, nitrierte Folien und Mehrschichtsysteme und ist damit eines der vielseitigsten Abscheidungssysteme.