Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293600548 zu verkaufen
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ID: 293600548
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Etcher, 12"
Factory interface: FI 5.3
Centura AP Mainframe
RF Rack, 12"
Bias 2 RF generator rack
TOYOTA T100L LL/MF Dry pump
SHIMADZU TMP-3403LMC Turbo pump
DAIHEN RMN-50N6 matcher
Shower head assy, TKI SIC SGD, With Alum Plug, E5
12" Facilities interface box: wFIB, eFIB
Inner/Outer independent temperature control
Independent Gas injection: 2 gases for each step
Closer cooling and heating showerhead design
Power supply:
High bias RF power capacity: 7.5 kW (max combined power)
RF Frequency: 162 MHz Source, 13.56/2 MHz Bias
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler ist ein Hochleistungs-Gasphasenreaktor zur Herstellung von Bauteilen, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden. AMAT Enabler hat ein einzigartiges Design, das ein patentiertes Gas-Flow-basiertes Verfahren verwendet, um eine effiziente und zuverlässige Methode für die Abscheidung von dünnen Schichten zu bieten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Kammer von Enabler ist gegenüber der Atmosphäre abgedichtet und mit einem Gas auf Siliziumbasis gefüllt, das typischerweise aus Silan oder Disilan besteht und in die Substratkammer übertragen wird. Enabler ist dann in der Lage, die Wärmeleitfähigkeit und Ätztemperatur des Substrats mit einer eingebauten Wärmemanagementeinrichtung zu steuern. Dieses System ermöglicht eine präzise Kontrolle der Menge an Wärmeenergie, die zur Erzeugung der gewünschten Foliendicke und Ätzeigenschaften verwendet wird. AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler verwendet einen ohmschen Strom, der in einen erwärmten Plasmaentladungsbereich injiziert wird, um den gewünschten Prozess zu erreichen. Dieser Zwei-in-One-Ansatz hilft, die Abscheidegeschwindigkeit zu verbessern und die Filmkontamination zu minimieren. Zusätzlich ist AMAT Enabler mit einer Schnellfülleinheit ausgestattet, die ein effizientes Umschalten zwischen Prozessgasen ermöglicht. Diese Funktion hilft, den Prozess zu optimieren, indem sie die Ungleichmäßigkeit des Films verringert, die Gleichmäßigkeit verbessert und eine bessere Prozessleistung erzeugt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Enabler ist auch mit einer Regelmaschine ausgestattet, um die Ausrüstungsleistung, Temperaturgleichmäßigkeit und langfristige Folienqualität zu erhalten. Dieses hochmoderne Werkzeug überwacht jede Prozessstufe einschließlich Plasmaerzeugung, Ioneneinschlag und Sputtern. Diese Funktion trägt auch dazu bei, eine genaue Temperaturregelung über die gesamte Bearbeitungskammer zu gewährleisten, was für die Herstellung hochwertiger Komponenten von entscheidender Bedeutung ist. Zusammenfassend ist Enabler ein Hochleistungs-Gasphasenplasmareaktor, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit höherer Geschwindigkeit und Effizienz entwickelt wurde. AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler verfügt über einen einzigartigen Prozess, der ohmsche Stromeinspritzung mit thermischem Management kombiniert, um die Prozessleistung zu verbessern und die Kontamination zu reduzieren. Darüber hinaus verwendet es ein fortschrittliches Kontrollmodell, das hilft, die Temperaturgleichförmigkeit in der Verarbeitungskammer während der Produktion aufrechtzuerhalten. Durch seine fortschrittlichen Eigenschaften und zuverlässige Leistung bietet AMAT Enabler eine hocheffiziente und zuverlässige Methode zur Herstellung einiger der fortschrittlichsten Halbleiterkomponenten, die heute in Produktion sind.
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