Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093619 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler
ID: 9093619
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Oxide etcher, 12" 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler ist ein spezialisierter Reaktor, der die Herstellung fortschrittlicher Halbleitermaterialien ermöglicht. Es bietet die erforderliche Umweltkontrolle, Prozessflexibilität und Durchsatzfähigkeit, um die anspruchsvollsten Herausforderungen der Branche zu meistern, einschließlich Hochtemperaturabscheidung und Ätzen. AMAT Enabler besteht aus einer integrierten Basiskammer, einem beweglichen Kopf, in dem die Materialquellen und Transportsysteme untergebracht sind, und wichtigen Komponenten, die für die Prozesssteuerung erforderlich sind. Die Kammer wurde entwickelt, um den Durchsatz zu maximieren und eine kontrollierte Umgebung für eine Vielzahl von Prozessen zu erhalten. Der ausziehbare Kopf ermöglicht eine schnelle Bewegung der Quelle zwischen Kammern, wodurch eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über eine weiträumige Bearbeitung gewährleistet ist. Die Kammer ermöglicht auch die Hochtemperaturabscheidung und das Ätzen. Das System wurde entwickelt, um Temperaturen von bis zu 800 ° C zu erreichen und ermöglicht qualitativ hochwertige Oxidations- und Nitridierungsprozesse für fortschrittliche Materialien. Das hohe Temperaturvermögen eröffnet auch die Möglichkeit der diamantartigen Kohlenstoffabscheidung (DLC) und anderer Nanokompositfolien auf Substraten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Enabler ist mit einer zukunftsweisenden Energiehardware ausgestattet, die die Wafertemperatur steuert und die für leistungsstarke Geräte erforderliche Gleichmäßigkeit gewährleistet. Die Beheizung der Wafer erfolgt entweder durch Elektronenbeschuss (EB) oder durch eine induktive Schnellheizung. Beide Systeme sind in der Lage, schnelle thermische Zyklen zu liefern, sowie destabilisierende Effekte durch Temperaturgradienten zu reduzieren. Enabler unterstützt auch fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, um sicherzustellen, dass alle wichtigen Parameter in der Kammer überwacht und bei Bedarf während der Herstellung angepasst werden. Diese Software ermöglicht es Ingenieuren, die Prozessparameter einfach zu überwachen und anzupassen, ohne manuelle Anpassungen vorzunehmen. AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler ist ein schneller und zuverlässiger Reaktor, der bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleitermaterialien hilft. Seine integrierten Komponenten, sein breites Anwendungsspektrum und seine überlegenen Steuerungsfunktionen machen es zu einer rundlichen Lösung für Halbleiterhersteller.
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