Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093620 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler ist ein hochmoderner, hocheffizienter Reaktor, der die Abscheidung von dünnen Schichten für Halbleiter- und optoelektronische Anwendungen erleichtert. Das Gerät bietet eine breite Palette von Abscheidungschemikalien und Materialkombinationen, einen hohen Durchsatz und eine hohe Prozesswiederholbarkeit. AMAT Enabler bietet durch seinen programmierbaren Process Controller (PPC) große Flexibilität, so dass Anwender schnell und einfach Prozessparameter einstellen und den Reaktorbetrieb in Echtzeit überwachen können. Im Kern der APPLIED MATERIALS Enabler ist seine fortschrittliche Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Plasmaquelle. Diese Quelle arbeitet mit einem niedrigen Druck, um die Bildung von energetischen Arten zu ermöglichen, die Material mit höheren Raten und mit höherer Gleichmäßigkeit als andere Arten von Quellen ablegen können. Die Entladung wird dann durch ein einstellbares mag-jet-System zur Wachstumsfläche transportiert, das einen gleichmäßigen Partikelfluss über das gesamte Substrat erzeugen soll. Diese Einheit kann auch verwendet werden, um eine einstellbare, energiereiche Zone für schwierige Filme wie Siliziumnitrid oder Galliumarsenid zu schaffen. Um konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten, ist Enabler mit einer programmierbaren Gasmischmaschine und Überdruckschutz sowie einer automatisierten Gasbewegungsregelung ausgestattet. Dies hilft, die Kreuzkontamination von Gasleitungen und Probleme mit der Gasaufnahme zu reduzieren. Zusätzlich ist das Werkzeug mit insgesamt drei Prozesszonen ausgelegt. Diese Zonen sind in einer invertierten V-Konfiguration angeordnet, um die Gleichmäßigkeit zu optimieren und eine gleichmäßige Abscheidung über die volle Substratgröße zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler bietet zudem umfassende Prozessdiagnostikmöglichkeiten. Es ist in der Lage, die Reaktorumgebung zu erhalten und Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Durchfluss zu überwachen. Dies ermöglicht die Optimierung des Abscheideprozesses und die Minimierung von Defekten. Zusätzlich kann mit einem optischen Pyrometer das seitliche Temperaturprofil über dem Substrat zur Prozessoptimierung gemessen werden. AMAT Enabler ist eine voll ausgestattete, benutzerfreundliche Abscheidung, die hochwertige Dünnschichtabscheidungsfunktionen bietet. Seine hohe Effizienz, Vielseitigkeit und umfassende Diagnosefunktionen können verwendet werden, um eine breite Palette von Materialien und Kombinationen mit wiederholbaren, qualitativ hochwertigen Ergebnissen abzulegen. Mit seinem PPC können Benutzer problemlos Prozessparameter einstellen, den Reaktorbetrieb überwachen und den Abscheidungsprozess optimieren. Damit ist APPLIED MATERIALS Enabler ein wertvolles Modell für hochwertige Dünnschicht-Halbleiter- und optoelektronische Anwendungen.