Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN #9204831 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN
ID: 9204831
Wafergröße: 12"
PVD System, 12".
AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA 2 DSTTN ist eine nächste Generation hoher einzelner Temperaturdoppeloblatenreaktor der chemischen Dampfabsetzung (CVD). Dieses System wurde für eine optimale Produktivität entwickelt, mit Funktionen und Funktionen, die eine ideale Lösung für fortschrittliche Prozesse bieten. AMAT Endura 2 DSTTN hat eine einzigartige Bodenkonvektionskonvektion, die eine verbesserte Gleichmäßigkeit und erhöhte Prozesstoleranz gegenüber konventionelleren Top-orientierten Konstruktionen ergibt. Die Endura 2 ist mit zwei unabhängig programmierbaren Einzel-Wafer-Lastschlössern ausgestattet, wodurch eine Kassette entladen werden kann, während die andere bearbeitet wird. Diese Doppelendlastsperre erhöht den Durchsatz und ermöglicht effiziente zweistufige Prozesse. Die Endura 2 verfügt zudem über eine „Warmwandeinrichtung“, die mit in die Kammerwände eingebetteten elektrischen Heizgeräten die für Abscheideprozesse erforderliche Wärme präzise abgibt. Der Endura 2 verfügt über eine fortschrittliche Wafer-zu-Wafer-Konsistenz, eine ausgezeichnete Plasmagleichförmigkeit und ein leistungsstarkes Prozessspektrum. Dieses System bietet eine fortschrittliche Prozesskontrolle, die höchste Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit über die gesamte Produktpalette gewährleistet. Es hat sich als besonders effektiv für Hochtemperaturprozesse wie Silicid und Titannitrid CVD erwiesen. Die Endura 2 ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben, von den herkömmlichen 300mm Silizium-Wafern bis hin zu neuen modernsten Glas- und Metallsubstraten wie GaN-on-Diamond und CaF2-on-Diamond. Das einzigartige Dual-Single-Wafer-Design ermöglicht die individuelle Steuerung beider Reaktorhälften und ermöglicht kundenspezifische Prozesse für verschiedene Substrattypen. Darüber hinaus verfügt das Endura 2 über mehrere zusätzliche Funktionen, die seine Leistung noch zuverlässiger machen. Es ist mit einer zusätzlichen HEPA-gefilterten Luftschleuse zur weiteren Verbesserung der Kammerreinheit ausgestattet und verfügt über eine automatische Kalibrierungsfunktion, die den E-Strahl automatisch an die Prozessbedingungen anpasst. Die Endura 2 bietet auch einen modularen Aufbau, so dass der Anwender Komponenten leicht aktualisieren kann. Alle diese Funktionen kombinieren, um den Endura 2 zu einem der fortschrittlichsten Hochtemperatur-CVD-Reaktoren auf dem Markt zu machen. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche und intuitiver Software bietet das Endura 2 die ultimative Lösung für fortschrittliche Abscheidungsprozesse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor