Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293642693 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2
ID: 293642693
Weinlese: 1900
PVD Chamber 1900 vintage.
AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA 2 ist ein fortgeschrittenes Hochleistungsplasma ätzen Ausrüstung, die für den Gebrauch in einer breiten Reihe von kritischen Anwendungen wie die Herstellung von 3D-Strukturen auf Halbleitern der nächsten Generation entworfen ist. Dieser vielseitige Reaktor wird mit der Hodurchflussionisationsquelltechnologie konfiguriert und zeigt eine eindrucksvolle Kombination eines Eigentums-APEX™ (Fortgeschrittener Plasmaex-Traktor) und Duo-ETCH® (Doppelionsquellfähigkeit) für den verbesserten Substrateinschluss und das Präzisionsätzen. Hinsichtlich der Konfigurierbarkeit bietet AMAT Endura 2 Herstellern höchste Flexibilität für unterschiedliche Prozessrezepte und Parameter. Es bietet auch eine fortschrittliche 10-Kammer-Lastverschlusslösung, die bis zu 10 Wafer gleichzeitig für eine äußerst präzise Handhabung aufnehmen kann. Die FASSC® Load-Lock-Technologie gewährleistet eine präzise Handhabung, Verfolgung und Überwachung von Wafern während des gesamten Prozesses. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 2 wurde entwickelt, um eine überlegene Ätzgenauigkeit, einen unübertroffenen Durchsatz und eine kritische Prozesslebensdauer auf einer Vielzahl von Substraten von einfach bis komplex zu bieten. Die Kombination aus APEX™ und Duo-ETCH® Technologie ermöglicht eine effiziente Mehrkammer-Steuerung und Prozesssynchronisation über alle Kammern gleichzeitig. Dadurch entfällt ein Großteil der manuellen Verfolgung und Überwachung, was den Setup-Prozess und den Ätzprozess schneller und zuverlässiger macht als je zuvor. In Bezug auf die Systemsteuerung ist der Endura 2-Reaktor mit einer umfassenden Reihe von Optimierungs-, Analyse- und Analysefunktionen integriert. Dank seiner Überwachungsfunktionen können Ingenieure den Ätzprozess von Anfang bis Ende verfolgen, Abfälle minimieren und die Erträge verbessern. Die leistungsstarken Echtzeit-Inspektions- und Datenanalyse-Funktionen des Geräts ermöglichen auch detailliertes Feedback, das zur Optimierung des Ätzprozesses verwendet werden kann und gleichzeitig die Gleichmäßigkeit und Präzisionsätzung des Substrats gewährleistet. Die robotergestützte AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 Trockenvakuum-Lastschloßmaschine sorgt für ein sicheres Handling empfindlicher Wafer und eine gleichmäßige Reinigung. Die automatische Reinigungsroutine mit BVAVS (Backside Vacuum Abrasive Vacuum Tool) eliminiert das manuelle Be- und Entladen, was zu einer verbesserten Betriebseffizienz und reduzierten Verschmutzungsrisiken führt. Die intuitive Benutzeroberfläche und die benutzerfreundliche Softwareschnittstelle von AMAT Endura 2 helfen weiter, den Setup-Prozess zu optimieren, indem Benutzer Ätzrezepte schnell speichern und replizieren können. Darüber hinaus verfügt APPLIED MATERIALS Endura 2 über eine fortschrittliche automatisierte Fernüberwachung und Datenerfassung, die es Anwendern ermöglicht, die Leistung des Modells in Echtzeit zu überwachen. Dieses Gerät ermöglicht es Benutzern, aus der Ferne alle Prozessanomalien oder Anomalien mit einem genauen Blick auf den Systemzustand zu beheben. Der Reaktor verfügt auch über integrierte Rückverfolgbarkeitsmanagementfunktionen, die Anwendern helfen, die Ätzergebnisse vom Anfang bis zum Ende des Prozesses zu verfolgen. Endura 2 ist eine leistungsstarke fortgeschrittene Plasmaätzeinheit, die für anspruchsvolle Prozess- und Anwendungsanforderungen ausgelegt ist. Die Hochdurchsatztechnologie sowie proprietäre APEX™ und Duo-ETCH® -Funktionen ermöglichen ein effizientes Ätzen komplexer Substrate, während die automatisierte Fernüberwachung und Datenerfassungsmaschine dazu beitragen, präzise und zuverlässige Prozesserträge zu gewährleisten.
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