Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9298227 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 ist ein einzelner vertikaler Diffusionsofen (VDF) zur Hochtemperaturdiffusion und Oxidation von Halbleiterscheiben. AMAT Endura 2 umfasst Innovationen in Technologie, Sicherheit und Produktivität. Es hat einen 9 "Durchmesser, susceptorless Kettenförderer entworfen, um 300mm Wafer zu halten. Es verfügt über zwei Haustüren, die separate Atmosphären mit unabhängiger Druck- und Temperaturregelung bieten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 2 wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Prozessergebnisse zu liefern. Es verfügt über ein integriertes automatisches Begasungssystem, das die automatische Steuerung des Stickstoff/Dampf oder Wasserstoff/Dampf-Gemisches für die In-situ-Oxidation durchführt. Endura 2 enthält auch einen leistungsstarken Embedded-Controller mit einem Touchscreen-Host-Computer. Mit dieser Kombination können Prozessingenieure schnell mehrere Rezepte gleichzeitig konfigurieren und effizient ausführen. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 ist auf Sicherheit und Zuverlässigkeit ausgelegt. Es verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie eine erweiterte Bedientürverriegelung und einen ausfallsicheren Türsensor, der die Einheit stoppt, wenn die Türen geöffnet sind. Die Kammer ist mit einer Kühlkühlmaschine für schnelle Abkühlung und minimalen thermischen Schock ausgestattet. AMAT Endura 2 ist hochproduktiv, mit einem schnellen Wechsel zwischen den Aufgaben durch seine leicht zugänglichen Teileluken. Es hat RapidStart-Technologie, die Rezept-Setup-Zeiten verkürzt und beschleunigt Zyklusstart. Es hat auch DeepTemperature Control, die hilft, wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. Diese Technologie ermöglicht es Verfahrenstechnikern, den Temperatur- und Temperaturgradienten in Substratbereichen, die mit herkömmlichen Heizmethoden schwer erreichbar sein könnten, genau zu steuern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 2 wurde entwickelt, um Kontaminationen zu reduzieren. Es verfügt über eine fortschrittliche Prozess-Balg und Plasma-Reinigung Fähigkeiten, die helfen, ein hohes Maß an Sauberkeit zu halten. Endura 2 verwendet standardmäßige Füll- und Abflussöffnungen sowie sekundäre Anschlüsse, um Kontaminationen aus externen Quellen zu reduzieren. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 ein fortschrittliches und zuverlässiges VDF-Werkzeug zur Hochtemperaturdiffusion und Oxidation von Halbleiterscheiben. Es ist ein produktives und sicheres Asset, mit dem Ingenieure mehrere Rezepte schnell konfigurieren und effizient gleichzeitig ausführen können. AMAT Endura 2 ist auch mit Funktionen zur Verringerung der Kontamination konzipiert.
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