Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 300mm Chamber #9125373 zu verkaufen
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AMAT (APPLIED MATERIALS) Endura 300 mm Chamber ist ein chemischer Dampfabscheidungswaferreaktor der Produktionsklasse, der eine flexible und präzise Abscheidung von dünnen Schichten auf Substratscheiben und anderen Substraten ermöglicht. Diese innovative chemische Bedampfungsanlage ist für Halbleiter, LED, mikro-elektromechanische Systeme und optoelektronische Anwendungen konzipiert. Das System ermöglicht es, Materialien bei niedrigem Druck für kristalline dünne Filme, bei kontrollierter Temperatur zur optimalen Dampfabsorption und mit präziser Flusssteuerung abzuscheiden. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 300 mm Kammer umfasst eine vertikale Reaktorkammer mit einer hochgenauen Vakuumdichtung, eine automatisierte präzise Gaseinspritzeinheit und einen Materialzufuhrkrümmer. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung über die Gesamtheit des Wafersubstrats. Die automatisierte Gasinjektormaschine gewährleistet eine genaue und wiederholbare Abscheidung durch genaue Steuerung und Regelung des Gaszufuhrdurchsatzes. Der Zuführkrümmer wiederum ermöglicht eine präzise und gleichmäßige Gasverteilung über die gesamte Waferoberfläche, um eine Variabilität der Folieneigenschaften zu verhindern. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einer unabhängigen Temperaturregelung sowohl für die Substratheizung als auch für die Ofen-Nichrom-Heizelemente ausgestattet, was eine präzise Temperaturregelung und optimale Dampfabsorption ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Kammer über eine integrierte Prozesssteuerbelastung, die schnellere Abscheidezeiten und einen höheren Produktionsdurchsatz ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht sein selbstjustierendes magnetisches Schwebelager einen minimalen Übertragungslauf, der eine präzise und gleichmäßige Filmabscheidung ermöglicht. Das Gesamtdesign von AMAT Endura 300 mm Chamber konzentriert sich auf die effiziente Abscheidung hochwertiger Dünnschichten. Diese erweiterte Kammer kann sowohl komplexe Muster als auch grundlegende einschichtige Substrate problemlos verarbeiten. Es ist schneller, zuverlässiger und kostengünstiger als andere herkömmliche Abscheidungssysteme, so dass es eine ideale Wahl für Hochdurchsatz-Produktionsmasken und Abscheidung von Nischenmaterialien ist.
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