Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9093774 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor ist die neueste Generation von AMAT Flaggschiff-Linie von Halbleiterätzwerkzeugen. Der AMAT Endura 5500 HP Reaktor ist ein Hochleistungsreaktor mit verbesserter chemischer Dampfabscheidung (PECVD) aus Mehrkammerplasma, der für die tiefe Submikron-IC-Verarbeitung entwickelt wurde. Das Fünfkammerwerkzeug ist speziell darauf ausgelegt, vielseitig einsetzbar zu sein und mehrere Gerätestrukturen mit einem Prozessmodul effizient zu bearbeiten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 HP Reactor bietet beispiellose Funktionen für die Verarbeitung fortschrittlicher Ultra-in-Multi-Level-Metallisierung, Kontakt über Verbindungsleitungen, lokale Verbindungsleitungen und Verbindungen mit hoher Dichte. Das Fünfkammerwerkzeug ist mit einem Zweizonen-/Vertikal-Versatz-Gasfördersystem ausgestattet, das zur präzisen Abgabe mehrerer Gase mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten in verschiedene Verarbeitungskammern ausgelegt ist. Zur zusätzlichen Prozessverbesserung steht auch ein Flüssigkeitsabgabesystem zur Verfügung. Endura 5500 HP Reactor ist mit sieben unabhängig betätigten PE-CVD Prozesskammern mit unabhängiger Temperatur-, Druck- und Durchflussregelung für jede Kammer ausgestattet. Eine digitale Steuerung ermöglicht eine präzise Anpassung und Steuerung der Prozessparameter. Die Hochleistungs-Ionenquelle des Werkzeugs ermöglicht die Verarbeitung extrem dünner Gateoxide und ermöglicht eine hervorragende Kontrolle des hohen Durchsatzes von Miniskülmustern. Darüber hinaus umfasst der AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor erweiterte Prozesskontroll- und Überwachungsfunktionen wie Online-Ionenquellenmessungen, Endpunkt-Rezeptbestätigung und Datenintegrationsgrafiken. Diese Prozessfähigkeit sowie Nassreinigungsfähigkeiten machen den 5500 PS starken Reaktor zu einem idealen Werkzeug für eine effiziente Bearbeitung komplexer Strukturen. AMAT Endura 5500 HP Reactor ist ein leistungsstarkes, umfassendes Werkzeug, das den hohen Anforderungen der fortschrittlichen IC-Fertigung gerecht wird. Mit fortschrittlichen Prozessfähigkeiten, hohem Durchsatz und unabhängiger Kammerbetätigung ist der Endura 5500 HP Reactor eine ausgezeichnete Wahl für die konsistente und zuverlässige Herstellung von Submikron-Strukturen mit komplexen Prozessanforderungen.