Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9223524 zu verkaufen
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ID: 9223524
Wafergröße: 8"
PVD System, 8"
Multi-chamber sputtering system
Process: Copper
Dry pump type: EBARA AA40W (System)
LLA
LLB
(2) Al
(2) Ta PVD
(2) PCII
(2) DG
System controller
SMIF System:
(2) LPT 2200
(2) Load locks
Handler system:
Buffer Hp
Transfer VHp
(2) Hoisters
Process chambers:
(2) ImpTa
(2) ClampAl
(2) PcII
(2) Degas
Main AC
NESLAB Chiller
(3) General racks
(2) Compressors
(4) EBARA Pumps
Chamber 1: B101 IMP Ta
Shutter disk
Body type: WB
Source type: Vectra IMP
Magnet type: RH-2
MFCs: Ar 140sccm
DC Generator: ADVANCED ENERGY MDX-L6
RF Generator:
ADVANCED ENERGY HFV8000 (RF Coil)
COMDEL CX-600S (AC Bias)
RF Match:
HE
BIAS
Vectra IMP
010CAP 2MHz (RF Coil)
13.56 MHz (AC Bias)
Cryo Pump: CTI On-Board 8F
No turbo pump
Chamber 2 & 3: Clamp Al
Body type: WB
Source type: 12.9''
Magnet type: Al A, 12.9''
DC Generator: ADVANCED ENERGY MDX-L12M
MFCs:
Ar 140sccm
Ar-H 70sccm
Cryo pump: CTI On-board 8F
No shutter disk
No RF Generator
No RF Match
No turbo pump
Chamber: 4 B101 IMP Ta
Shutter disk
Body type: WB
Source type: Vectra IMP
Magnet type: RH-2
MFCs: Ar 140 sccm
ADVANCED ENERGY MDX-L6 DC Generator
RF Generator:
ADVANCED ENERGY HFV8000 RF Coil
COMDEL CX-600S AC Bias
RF Match:
HE
BIAS
Vectra IMP
010CAP 2MHz (RF Coil)
13.56MHz (AC Bias)
Cryo pump: CTI On-board 8F
No turbo pump
Chamber A & B: Cool down
Dry pump: EBARA AA20N
Pedestal type: Clncool
Chamber C & D: PCII
Process: Etch
PK Type: PIKII Pinless
Dry pump: EBARA AA20N
Turbo pump: LEYBOLD TMP
RF Generator:
COMDEL CPS1001S 13.56MHz
RFPP LF10A 400KHz
RF Match: PC II 13.56MHz
MFCs:
Ar 28sccm
Ar 420sccm
No DC Generator
No cryo pump
Chamber E & F: O/D
Degas type: Standard
Buffer & Transfer:
Cryo pump: CTI On-board 8F
Robot type: HP
Load lock:
Body type WB
Venting & pumping mode:
Soft slow
Fast
Wafer mapping: Standard
No scrubber / CDO
Heat exchanger: NESLAB III (PVD Chm)
Cryo compressor: Water cooled 9600
CIM Linked.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor ist ein kompaktes, automatisiertes CVD-Werkzeug, das für eine zuverlässige hochpräzise Verarbeitung für fortschrittliche Materialanwendungen entwickelt wurde. Dieser Reaktor verfügt über eine unvergleichliche Geschwindigkeit und Genauigkeit Fähigkeiten mit seiner Mikron-Ebene Genauigkeit und vertikale Abtastzeit von bis zu 10 Minuten. AMAT Endura 5500 HP ist mit einer robust gestalteten Kammer ausgestattet, die sich sowohl für große Chargenaufträge als auch für die komplexesten Einsätze eignet. Es verwendet Dual-Frequenz-Plasma, um optimierte Abscheidungsfähigkeiten unter einer Vielzahl von Prozessbedingungen zu ermöglichen. Die Dual-Motoren, die Hochleistungs-HF-Leistungsmodule, die mehreren unabhängigen Abscheidequellen und die einstellbare Kammertemperatur bieten eine sehr wiederholbare Reihe von Prozessparametern für die fortschrittlichsten Anwendungen. Zu den herausragenden Funktionen des Endura gehören seine leistungsstarken Steuerungs- und Automatisierungsfunktionen. Es verfügt über einen fortgeschrittenen Roboterarm mit integrierten Endeffektoren, die es ihm ermöglichen, die Flugbahn des Waferträgers durch die Kammer genau zu steuern. Das Endura bietet auch ein benutzerfreundliches grafisches Benutzeroberflächensystem, das schnelle Parameteränderungen und die Möglichkeit zur Überwachung des Prozesses in Echtzeit ermöglicht. Die motorisierten Kammerelemente wie Roboterarm, Quarzkammer und Gasfördersysteme ermöglichen die stufenlose Einstellung von APPLIED MATERIALS Endura 5500 PS für ultrapräzise Dünnschichtfunktionen. Dieser Reaktor kann für Abscheideprozesse mit organo-metallischen Reagenzien, wie ozonbasierten Prozessen, sowie Abscheideprozessen mit Festphasenvorstufen eingesetzt werden. Endura 5500 PS wurde entwickelt, um herausragende Zuverlässigkeit und Leistung zu bieten. Seine erweiterten Funktionen bieten flexible Prozessentwicklungsfunktionen, einschließlich Prozessprofilerstellung, Diagnose, Fernüberwachung und Datenprotokollierung. Der Reaktor verfügt auch über verschiedene Sicherheitsmerkmale, um die Betreiber und das System selbst vor potenziellen Gefahren zu schützen. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 PS ist ein effizienter und zuverlässiger Reaktor, der die anspruchsvollsten Abscheidungsanwendungen bewältigen kann. Es ist eine ideale Wahl für fortgeschrittene Materialanwendungen und ermöglicht die Herstellung hochwertiger Folien und Oberflächen mit beispiellosen Erträgen.
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