Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9223524 zu verkaufen

ID: 9223524
Wafergröße: 8"
PVD System, 8" Multi-chamber sputtering system Process: Copper Dry pump type: EBARA AA40W (System) LLA LLB (2) Al (2) Ta PVD (2) PCII (2) DG System controller SMIF System: (2) LPT 2200 (2) Load locks Handler system: Buffer Hp Transfer VHp (2) Hoisters Process chambers: (2) ImpTa (2) ClampAl (2) PcII (2) Degas Main AC NESLAB Chiller (3) General racks (2) Compressors (4) EBARA Pumps Chamber 1: B101 IMP Ta Shutter disk Body type: WB Source type: Vectra IMP Magnet type: RH-2 MFCs: Ar 140sccm DC Generator: ADVANCED ENERGY MDX-L6 RF Generator: ADVANCED ENERGY HFV8000 (RF Coil) COMDEL CX-600S (AC Bias) RF Match: HE BIAS Vectra IMP 010CAP 2MHz (RF Coil) 13.56 MHz (AC Bias) Cryo Pump: CTI On-Board 8F No turbo pump Chamber 2 & 3: Clamp Al Body type: WB Source type: 12.9'' Magnet type: Al A, 12.9'' DC Generator: ADVANCED ENERGY MDX-L12M MFCs: Ar 140sccm Ar-H 70sccm Cryo pump: CTI On-board 8F No shutter disk No RF Generator No RF Match No turbo pump Chamber: 4 B101 IMP Ta Shutter disk Body type: WB Source type: Vectra IMP Magnet type: RH-2 MFCs: Ar 140 sccm ADVANCED ENERGY MDX-L6 DC Generator RF Generator: ADVANCED ENERGY HFV8000 RF Coil COMDEL CX-600S AC Bias RF Match: HE BIAS Vectra IMP 010CAP 2MHz (RF Coil) 13.56MHz (AC Bias) Cryo pump: CTI On-board 8F No turbo pump Chamber A & B: Cool down Dry pump: EBARA AA20N Pedestal type: Clncool Chamber C & D: PCII Process: Etch PK Type: PIKII Pinless Dry pump: EBARA AA20N Turbo pump: LEYBOLD TMP RF Generator: COMDEL CPS1001S 13.56MHz RFPP LF10A 400KHz RF Match: PC II 13.56MHz MFCs: Ar 28sccm Ar 420sccm No DC Generator No cryo pump Chamber E & F: O/D Degas type: Standard Buffer & Transfer: Cryo pump: CTI On-board 8F Robot type: HP Load lock: Body type WB Venting & pumping mode: Soft slow Fast Wafer mapping: Standard No scrubber / CDO Heat exchanger: NESLAB III (PVD Chm) Cryo compressor: Water cooled 9600 CIM Linked.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor ist ein kompaktes, automatisiertes CVD-Werkzeug, das für eine zuverlässige hochpräzise Verarbeitung für fortschrittliche Materialanwendungen entwickelt wurde. Dieser Reaktor verfügt über eine unvergleichliche Geschwindigkeit und Genauigkeit Fähigkeiten mit seiner Mikron-Ebene Genauigkeit und vertikale Abtastzeit von bis zu 10 Minuten. AMAT Endura 5500 HP ist mit einer robust gestalteten Kammer ausgestattet, die sich sowohl für große Chargenaufträge als auch für die komplexesten Einsätze eignet. Es verwendet Dual-Frequenz-Plasma, um optimierte Abscheidungsfähigkeiten unter einer Vielzahl von Prozessbedingungen zu ermöglichen. Die Dual-Motoren, die Hochleistungs-HF-Leistungsmodule, die mehreren unabhängigen Abscheidequellen und die einstellbare Kammertemperatur bieten eine sehr wiederholbare Reihe von Prozessparametern für die fortschrittlichsten Anwendungen. Zu den herausragenden Funktionen des Endura gehören seine leistungsstarken Steuerungs- und Automatisierungsfunktionen. Es verfügt über einen fortgeschrittenen Roboterarm mit integrierten Endeffektoren, die es ihm ermöglichen, die Flugbahn des Waferträgers durch die Kammer genau zu steuern. Das Endura bietet auch ein benutzerfreundliches grafisches Benutzeroberflächensystem, das schnelle Parameteränderungen und die Möglichkeit zur Überwachung des Prozesses in Echtzeit ermöglicht. Die motorisierten Kammerelemente wie Roboterarm, Quarzkammer und Gasfördersysteme ermöglichen die stufenlose Einstellung von APPLIED MATERIALS Endura 5500 PS für ultrapräzise Dünnschichtfunktionen. Dieser Reaktor kann für Abscheideprozesse mit organo-metallischen Reagenzien, wie ozonbasierten Prozessen, sowie Abscheideprozessen mit Festphasenvorstufen eingesetzt werden. Endura 5500 PS wurde entwickelt, um herausragende Zuverlässigkeit und Leistung zu bieten. Seine erweiterten Funktionen bieten flexible Prozessentwicklungsfunktionen, einschließlich Prozessprofilerstellung, Diagnose, Fernüberwachung und Datenprotokollierung. Der Reaktor verfügt auch über verschiedene Sicherheitsmerkmale, um die Betreiber und das System selbst vor potenziellen Gefahren zu schützen. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 PS ist ein effizienter und zuverlässiger Reaktor, der die anspruchsvollsten Abscheidungsanwendungen bewältigen kann. Es ist eine ideale Wahl für fortgeschrittene Materialanwendungen und ermöglicht die Herstellung hochwertiger Folien und Oberflächen mit beispiellosen Erträgen.
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