Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 SIP EnCoRe #158915 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 158915
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2007
System, 8"
Number of Chambers: 5
Process capabilities:
Hot Al, SIP TTN, SiP Encore Cu, SIP Encore Ta(N) and CleanW
Application: Copper Barrier Seed
Wafer size range: 6" to 8"
Wafer set size: 8"
Chamber 1:
Enhanced Hot Aluminum
Standard Body Chamber
Mech Clamped chuck, Ti clamp ring
CTI Onboard Cryo, fast regen, low vibe
Magnet type: 12.9" Al A,P/N: 0020-26822
Chamber 2:
Ti Nitride
Wide Body Chamber
Elec. Chuck: Bias MCS ESC, SST cover ring
Wafer bias power supply, 13.56MHz 600 W,
CTI Onboard Cryo, fast regen, low vibe
Magnet type: SIP REV2, P/N: 0010-04065
Chamber 3:
SIP Encore Cu
Wide Body Chamber
Elec. Chuck: SLT FDR E-Chuck, Ti cover ring, cryo chilled
Wafer bias power supply, 13.56MHz 1250 W,
CTI Onboard Cryo, fast regen, low vibe
Magnet type: LP 8.8, P/N: 0010-12864
Chamber 4:
SIP Encore Ta(N)
Wide Body Chamber
Elec.Chuck: SLT FDR E-Chuck, Ti -Arc-Sp
Wafer bias power supply, 13.56MHz 600W, ICE RF Match
CTI Onboard Cryo, fast regen, low vibe
Magnet Type: Encore Rev 2, P/N:0010-14875
Chamber 5:
CleanW PVD
Wide Body Chamber
Elec. Chuck: MCS+ ESC, SST-Arc-Sp cover ring
CTI Onboard Cryo, fast regen, low vibe
Magnet type: PVD WII, P/N: 0010-11925
Interface Type: SECS RS-232
Elevator Type: Universal Manual with Rotate
External Cooling: Water Cooled
Accessories:
(3) CTI 9600 Compressor, p/n: 3620-01389, water cooled
(3) CTI Onboard Terminal, p/n: 3620-01553
(2) Neslab System III Heat Exchanger
(1) CTL Inc subzero chiller, Model: BCU-L310F1-AMAT
(1) Toyota T100L Dry Pump
(2) Toyata T600 Dry Pump
Other Information:
Buffer Chamber Position "A": Pass thru with clear plastic lid
Position "B": Cooldown with temp monitor
Position "D": Reactive Preclean, Leybold TMP
Position "E" Orienter degas with temp feedback
Position "F" Orienter degas with temp feedback
Wide Body Loadlocks with variable speed soft vent
VHP Transfer Robot with HTHU compatible blade
HP+ Buffer Robot with with original metal blade
50' Cable harness
SMIF Integrated Tool Control
#NB: Asyst SMIF Loader sold as option.
Power Requirements: 480 V, 500.0 A, 60 Hz, 3 Phase
CE Marked: yes
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 SIP EnCoRe ist ein hochmoderner Reaktor, der eine hervorragende Leistung und vereinfachte Bedienung in einer Vielzahl von Modulprozessen bietet - von effizientem Si-Epitaxiewachstum, selektivem Epitaxiewachstum (SEG) bis zur Oxidation und Siliziumnitrid. Der 5500 SIP EnCoRe nutzt die AMAT Next Generation Thermal Control (NTCT) Technologie, die die Prozessvariabilität durch eine umfassende Kontrolle des gesamten thermischen Bereichs beruhigt. Dies wird durch die fortschrittlichen Temperaturregelalgorithmen von NTCT erreicht, so dass der Reaktor die Prozesskammer von 4 ° C bis 1200 ° C in Sekunden genau regulieren kann. Der 5500 SIP EnCoRe wird von seiner proprietären induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) angetrieben, die die Prozessflexibilität und -kontrolle maximieren soll. Das ICP-System kann verwendet werden, um hochhomogene Plasmableche zu erzeugen, wobei die Prozessstabilität über unterschiedliche Substratgrößen erhalten bleibt. Diese Funktionen ermöglichen es dem Benutzer, die Leistung, den Gesamtdruck und die Abonnementvorspannung basierend auf der Anwendungsanforderung anzupassen, was Anpassungsfähigkeit und Zuverlässigkeit garantiert. Der Reaktor weist auch eine Lastsperre auf, die eine starre Abdichtung zwischen Transferkammer, Ladekammer und Prozesskammer ermöglicht. Dies reduziert mögliche Kontaminationen, das Risiko der Partikelerzeugung und vereinfacht den Übergang zwischen verschiedenen Prozessen. Zusätzlich verlängert der 5500 SIP EnCoRe die Standzeit mit einem patentierten Erosionsminderungsmechanismus, der die Reaktorkammer durch Drehung und einstellbare Geschwindigkeit sauber hält. Für die Prozessüberwachung verfügt der 5500 SIP EnCoRe über mehrere integrierte Sensorfunktionen. Die Konstruktion umfasst mehrere Sensoren und ein Detektionssystem, das radiometrische Temperaturmessungen, Basisdrucküberwachung, Dickenmessung der Abscheidungsschicht und Meldung niedriger Gasnutzung ermöglicht. Alle diese Einstellungen werden automatisiert und nachverfolgt, um einen maßgeschneiderten Ansatz für die jeweiligen Anwendungen der Benutzer zu gewährleisten. AMAT Endura 5500 SIP EnCoRe ist das ideale Reaktivionenätzwerkzeug zur Optimierung von Prozessflexibilität und Qualitätskontrolle. Mit überlegener Temperaturgenauigkeit, geringer Kontamination und integrierter Erkennung besteht das System aus einer Reihe fortschrittlicher Funktionen, die die Prozesskontrolle verbessern und Kosten senken sollen.
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