Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373207 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP
ID: 9373207
Wafergröße: 2"-6"
PVD Sputtering system (4) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP ist ein fortschrittlicher CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der die Abscheidung verschiedener Materialien wie Silizium und dielektrische Filme sowie eine Vielzahl anderer Materialien erleichtert. AMAT Endura 5500 VHP-Reaktor verwendet eine Prozesskammer, um Dünnschichtschichten von Materialien auf dem Substrat abzuscheiden, mit einer Kombination aus AMAT- und CVD-Dotierungsgasen. Dem Verfahren folgt ein schneller Glühschritt vor der Folienabscheidung, der die Qualitäten der abgeschiedenen Folienschicht erhöht. Der Reaktor besteht aus mehreren Hauptkomponenten: einer Hauptkammer, einer Vorkammer, einer Substratstufe und einer Gaseinspritzeinrichtung. Die Hauptkammer, die ein Ultrahochvakuum (UHV) -System ist, enthält die Substratstufe und sorgt für hohe Reinheit während des Abscheidungsprozesses. Die vorgeschaltete Kammer enthält verschiedene Gasleitungen und Komponenten zur Unterstützung des Prozesses, wie Injektoren und Gasleitungen. Der Reaktor ist mit hochpräzisen Steuerungen ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglichen, den Fluss des Substrats zu regulieren und die Gase zu dotieren, wodurch eine gleichmäßige und qualitativ hochwertige Abscheidung gewährleistet ist. Die Substrattemperaturen werden auch mit Quarzsensoren präzise gesteuert, die zwischen einstellbaren Bereichen von 250 ° bis 400 ° C gehalten werden. Für eine optimale Prozessstabilität wird auch ein einstellbarer Reaktionsraumdruck aufrechterhalten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 VHP Reaktor ist mit Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um die Sicherheit aller Personen in der Nähe zu gewährleisten. Dazu gehören eine mechanische Türverriegelung, Druckaufnehmer und Fluchttasten, um sicherzustellen, dass alle Teile der Einheit ordnungsgemäß funktionieren. Eine Notgasisoliermaschine und ein Feuerunterdrückungswerkzeug sorgen ebenfalls für zusätzliche Sicherheit. Der Betrieb des Reaktors ist extrem effizient, so dass der Benutzer eine hohe Abscheiderate, außergewöhnliche Präzision und Wiederholbarkeit und ausgezeichnete Materialqualität erreichen kann. Hohe Durchsatz- und Vollautomatisierungsfunktionen minimieren Ausfallzeiten, was einen höheren Ertrag und kürzere Zykluszeiten ermöglicht. Darüber hinaus ist der Reaktor zuverlässig, langlebig und wartungsfreundlich. Endura 5500 VHP ist eine ideale Wahl für die Abscheidung einer Reihe von Materialien und dielektrischen Filmen. Seine fortschrittlichen Funktionen, einschließlich hochpräziser Kontrolle, Sicherheitsmerkmale, Effizienz und Haltbarkeit, haben es zu einer zuverlässigen und effizienten Wahl in der CVD-Industrie gemacht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor