Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373208 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP
ID: 9373208
Wafergröße: 6"
PVD Sputtering system, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP ist ein vertikaler Wärmebearbeitungsreaktor (VHP), der für den Einsatz in der Gerätehalbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieser Reaktor ist speziell auf die steigenden Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten, die hohe Präzision und Wiederholbarkeit beinhaltet. AMAT Endura 5500 VHP wurde entwickelt, um Energie in und hochtemperaturgesteuerte Gleichmäßigkeit aus dem Reaktorinneren zu liefern. Dies geschieht mit einem Array von unabhängig unterstützten, vertikal ausgerichteten HF-Quellen der 3000-Serie, die sowohl als Ionenquelle als auch als Wärmequelle fungieren. Die RF-Quellen der 3000-Serie ermöglichen es dem Reaktor, Substraten jeder vernünftigen Ausrichtung Strom zu liefern, was eine feine Kontrolle über die gemusterte Freisetzung von Energie ermöglicht. Mit dieser Fähigkeit kann APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP Oberflächentemperatur und Leistung präzise regulieren, was sowohl hochtemperatur- als auch niedrigenergetische Lösungen ermöglicht. Der Reaktor verfügt auch über eine fortschrittliche Gleichmäßigkeitsregelung, die eine genaue Einstellung der Leistungsverteilung ermöglicht. Dadurch wird eine gleichmäßige Energieabgabe über die gesamte Oberfläche gewährleistet, um die gewünschte Gleichmäßigkeit und Präzision zu erzielen. Zusätzlich ist der Reaktor mit einer lichtbogenarmen Kammer ausgestattet, was die Gefahr einer elektrostatischen Entladung innerhalb der Kammer verringert. Dies ermöglicht einen sicheren und sicheren Betrieb. Endura 5500 VHP verwendet die neueste thermische Verarbeitungstechnologie, einschließlich Inertgaseinspritzung und Vakuumtechnologie, um Partikel und Verunreinigungen beim Ätzen und Abscheiden zu reduzieren. Das System ist auf einem ISO-14644-1 Reinraumstandard aufgebaut, so dass alle Komponenten im Reaktor das gleiche Maß an Sauberkeit erhalten. Dies gewährleistet eine konsistente und nahezu perfekte Umgebung innerhalb der Kammer, um einheitliche, wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP verfügt auch über außergewöhnliche Prozessüberwachungsfunktionen, die es seinem Bediener ermöglichen, Echtzeittemperatur und Prozessbedingungen zu sehen. Darüber hinaus ermöglicht die benutzerfreundliche, grafische Benutzeroberfläche die einfache Konfiguration von Parametern und die Auswahl von Rezepten, was einen erfolgreichen Betrieb des Geräts ermöglicht. AMAT Endura 5500 VHP ist ein fortschrittlicher VHP-Reaktor, der den High-Tech-Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Seine Anordnung von unabhängig unterstützten, vertikal ausgerichteten 3000 Serie HF-Quellen ermöglichen eine feine Kontrolle der Substratheizung und der Leistung, während seine niedrige Lichtbogenkammer das Risiko einer elektrostatischen Entladung verringert. Dieser Reaktor ist auch mit einem fortschrittlichen Einheitlichkeitskontrollsystem, Inertgaseinspritzung, Vakuumtechnologie und ISO-14644-1 Reinraumstandards ausgestattet, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche und ihre Prozessüberwachungsfunktionen machen APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP zu einem zuverlässigen und sicheren Gerät für jede Halbleiterproduktion.
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