Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #166248 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 166248
Sputtering system, 8"
Process: AlCu / TiN / Ti
Specifications:
Robot:
Buffer: AMAT HP, ceramic blade
Transfer: AMAT HP, metal blade
System monitor:
1: stand alone
2: through the wall
3: stand alone
(1) each monitor rack
Load lock:
Narrow body with tits in and out
No sliding sensor kit
Chamber A
- Chamber type: Pass through
- Chamber Lid: Metal Lid
- Cooling method: NA
Chamber B
- Chamber type: Cool down
- Chamber Lid: Metal lid
- Cooling method: By PCW
Chamber C
- Chamber type: N/A
- Chamber process:
- RF Gen/DC power supply
- Turbo pump:
- Process gas
Chamber D
- Chamber type: Preclean I
- Chamber process:
- RF Gen/DC power supply1:
- RF Gen/DC power supply2:
- Turbo pump
Chamber F:
- Chamber type: Orient/Degas
Chamber 1
- Chamber type: Standard body
- Chamber process: AlCu, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K SLAVE
- RF Gen/DC power supply2: A, MDX-20K MASTER
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-20059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 2
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: TiN
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: : CTI CRYO 8F 2phase
- Source(Lid) type : P/N 0010-20059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 3
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: Ti
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-70059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 4
- Chamber type: Wide body
- Chamber process: Ti, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-20059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Includes:
- Heat exchanger type: Neslab III 1ea
- Compressor type: CTI 8500 2ea
- EMO on source cover : No
- Shutter : No
- SBC : V440
- KSI Shild Treatment DC Power Supply 1ea
- AE, MDX-052, SHILD TREATMENT CONTROLLER
- COMDEL, CPS-1001 RF POWER SOURCE 60.00Hz
- 15V P.S. ASSEMBLY / 24V P.S. ASSEMBLY
Installed
1994 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor ist eine Plasmaätzanlage der nächsten Generation, die den Anforderungen moderner Halbleiterbauelementehersteller gerecht wird. Dieses Reaktorsystem ist in der Lage, präzise Ätzprozesse für eine breite Palette fortschrittlicher CMOS-, 3D-NAND- und DRAM-Speicher und Logikgeräte zu liefern. Unter Verwendung einer proprietären integrierten Düsen kombiniert mit einer hochdichten Plasmaquelle kann AKT Endura 5500 ausgezeichnete Ätzraten, hohe Gleichmäßigkeit über einen großen Waferbereich und schnelles Kammerzyklen für erhöhten Durchsatz liefern. AMAT ENDURA 5500 kommt mit einer leistungsstarken Vakuumpumpeneinheit und hohem Antriebsdruck, um das schnelle Entfernen von Ausgasungsmaterialien aus der Prozesskammer zu erleichtern. Die Maschine ist mit der neuesten Plasmaquelle und Verteilungstechnologie ausgestattet, so dass der Benutzer Ätzparameter in Echtzeit und Feinabstimmung Ätzergebnisse anpassen, um Schäden an empfindlichen Oberflächen während der Verarbeitung zu minimieren. Das Kunststoffgehäuse des Werkzeugs wurde entwickelt, um akustische Geräusche zu dämpfen und die Präzisionskomponenten des Geräts vor Vibrationen und elektromagnetischen Störungen zu schützen. Es enthält auch ein integriertes Gasliefermodell und Massengasvorräte, die eine präzise Zuführung und Steuerung mehrerer Ätzgase ermöglichen. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 ist mit einem konfigurierbaren Arbeitsplatz und Controller ausgestattet, der es dem Benutzer ermöglicht, Ätzrezepte basierend auf Material- oder Produktanforderungen zu speichern, zurückzurufen und anzupassen. Weitere Funktionen umfassen Multiprozessfähigkeit, manuelle/automatisierte Flusssteuerung, konfigurierbare Batch-Parameter, Diagnose und Reporting. AMAT Endura 5500 ist für den sauberen Betrieb in Reinraumumgebungen der Klasse 1 konzipiert und ist in mehreren Konfigurationen für flexiblen Betrieb, einschließlich manueller/Fernbedienung/Konsole, verfügbar. Diese Reaktorausrüstung wurde nach höchsten Qualitätsstandards hergestellt und liefert zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse. Es bietet verbesserte Ertrags-, Durchsatz- und Betriebsökonomie in einer einzigen, flexiblen Plattform.
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