Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #166249 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 166249
Weinlese: 1993
Sputtering system, 8"
Wafer size: 8" flat (not notch)
Configuration:
Chamber 1: AlCu
Chamber 2: TiN
Chamber 3: Ti
Chamber 4: Ti
Preheat
Etch
Clean bench
Clamp (not electrostatic chuck)
Robot:
Buffer: AMAT HP, ceramic blade
Transfer: AMAT HP, metal blade
System monitor:
1: stand alone
2: through the wall
3: stand alone
(1) each monitor rack
Load lock:
Narrow body with tits in and out
No sliding sensor kit
Chamber A
- Chamber type: Pass through
- Chamber Lid: Metal Lid
- Cooling method: NA
Chamber B
- Chamber type: Cool down
- Chamber Lid: Metal lid
- Cooling method: By PCW
Chamber D
- Chamber type: Preclean I
- Chamber process:
- RF Gen/DC power supply1:
- RF Gen/DC power supply2:
- Turbo pump
Chamber F:
- Chamber type: Orient/Degas
Chamber 1
- Chamber type: Standard body
- Chamber process: AlCu, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K SLAVE
- RF Gen/DC power supply2: A, MDX-20K MASTER
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-70086
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 2
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: TiN
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: : CTI CRYO 8F 2phase
- Source(Lid) type : UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 3
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: Ti
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 4
- Chamber type: Wide body
- Chamber process: Ti, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Includes:
- Heat exchanger type: Neslab III 1ea
- Compressor type: CTI 8500 2ea
- EMO on source cover : No
- Shutter : No
- SBC : V440
- KSI Shild Treatment DC Power Supply 1ea
- AE, MDX-052, SHILD TREATMENT CONTROLLER
- COMDEL, CPS-1001 RF POWER SOURCE 60.00Hz
- 15V P.S. ASSEMBLY / 24V P.S. ASSEMBLY
- 2Board MISC. on MASS STROAGE BOARD
Includes pumps
Installed
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein Plasmaätzreaktor für die hochpräzise Verarbeitung und Herstellung empfindlicher mikroelektronischer Bauteile. AKT Endura 5500 ist eine vollständig geschlossene Ausrüstung bestehend aus einer Prozesskammer, einer externen Vakuumpumpe und einer Reihe weiterer peripherer Komponenten. Das System ist so konzipiert, dass es zuverlässige und konsistente Prozessergebnisse liefert und ideal für Ätz-, Muster- und andere präzise mikroelektronische Verarbeitungsanforderungen geeignet ist. Die Prozesskammer von AMAT ENDURA 5500 ist ein aluminiumgewölbtes Gehäuse, das mit keramischen Fensteröffnungen ausgekleidet ist, um die Prozesskomponenten innerhalb zu schützen. Der Reaktor verwendet eine Vielzahl von Gasen und Energiequellen, um komplexe Muster zu erzeugen und zu definieren. An der Kammer können je nach Anwendungsfall Gasflaschen oder Verteiler befestigt werden, die eine reaktive Chemie bereitstellen, die mit dem Oberflächenmaterial gemäß einer programmierbaren Steuerung zusammenwirkt. Ein elektromagnetischer Feldgenerator ist ebenfalls installiert, um die notwendige ionische Energie für die Prozesssteuerung bereitzustellen. ENDURA 5500 ermöglicht einstellbare Druck-, Durchfluss- und Temperaturregeleinstellungen, die durch ein reaktives Gasventil und ein Kammerthermoelement verwaltet werden. Der Druck wird durch eine zweistufige externe Vakuumpumpe aufrechterhalten, die beim Anfahren automatisch ausgegast wird. Dadurch wird sichergestellt, dass die Prozesskammer vor Beginn der Produktion frei von Verunreinigungen ist. Neben den Kontrollen bietet AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 auch fortschrittliche Überwachungs- und Diagnosewerkzeuge an, um eine maximale Produktivität zu gewährleisten. Dazu gehören eine Echtzeit-Datenanzeige, ein Druckmonitor und ein Präzisionszeitgeber, der für die Verwaltung der Prozessdauer eingestellt werden kann. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eingebaute Sicherheitsfunktionen wie Überdruck und Überhitzungsschutz. Dadurch werden Produkte höchster Qualität und effiziente Produktionsraten gewährleistet. Endura 5500 ist bekannt für seine Zuverlässigkeit und liefert konsequent qualitativ hochwertige Ätzergebnisse. Damit ist es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von mikroelektronischen Verarbeitungsanforderungen. Die einstellbaren Bedienelemente, Diagnosewerkzeuge und eingebauten Sicherheitsmerkmale sorgen zudem für eine hohe Effizienz und hervorragende Ergebnisse.
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