Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293742979 zu verkaufen

ID: 293742979
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
PVD System, 6" 1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein hochleistungsfähiger PVD-Reaktor, der zur Dünnschichtabscheidung auf Halbleiterscheiben verwendet wird. Diese moderne Ausrüstung wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet, die verschiedene elektronische Geräte und Komponenten ermöglichen. Der PVD-Reaktor AKT Endura 5500 eignet sich gut für eine Vielzahl von Verfahren, darunter AlSi, Ti, TiCN, AlN, Titan-Siliziumnitrid (TiSiN) und andere Metalle. Es verfügt über ein modernes Design, das Prozesschemien der nächsten Generation und eine intelligente, skalierbare Steuerungsplattform umfasst. Der Reaktor ist mit einem temperaturgesteuerten Substrathalter, Niederdruckoptionen und anderen fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die die Folienqualität und Gleichmäßigkeit optimieren. AMAT ENDURA 5500 verwendet eine Mehrzonenabscheidungstechnik, um Filme mit Homogenität im gesamten Wafer zu liefern. Dieses Verfahren besteht aus verschiedenen Gasströmen der Plasmaätzung, Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Abscheidung, Regelkreislauf-Rückkopplung und anderen Technologien. Seine erweiterte Dual-Gas-Fähigkeit ermöglicht höhere Abscheidungsraten bei ausgezeichneter Gleichmäßigkeit. Das Prozessleitsystem des Reaktors nutzt intelligente Modellierungstechniken, um Prozessstörungen zu antizipieren und Korrekturen in Prozessanpassungen einzubeziehen. Dadurch wird eine hochpräzise Gleichmäßigkeit und Homogenität der fertigen Folien gewährleistet. Es hat auch mehrere Optionen für die Plasmaaktivierung, die die Haftung und verbesserte Filmeigenschaften gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 bietet ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit, Gleichmäßigkeit und Durchsatz. Mit diesem Reaktor können Benutzer Sub50-nm-Filme über einen Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 11 Zoll ablegen. Darüber hinaus ermöglichen die patentierten Regelkreise den Anwendern, die Prozesseinstellungen in Echtzeit anzupassen und die gewünschten Dünnschichtabscheidungsergebnisse zu erzielen. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA 5500 's Closed-Loop-Feedback-Steuerung, Kombination neuartiger Technologien und präzise Prozesswiederholbarkeit machen es zu einer beliebten Wahl für PVD-Anwendungen. Es bietet überlegene Leistung für viele Arten von Dünnschichtanwendungen und ist für die Serienproduktion geeignet.
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