Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293748483 zu verkaufen
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ID: 293748483
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
Physical Vapor Deposition (PVD) system, 6"
(2) Al PVD Chambers
Ti PVD Chamber
Narrow body load lock
HP Robot
1993 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein wichtiges Werkzeug zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und -systemen. Es wird hauptsächlich verwendet, um hochdauernde, leistungsschwache Teile und Geräte zu schaffen, die einer Vielzahl von Industriestandards entsprechen. AKT Endura 5500 bietet mehr Leistung und Zuverlässigkeit im Vergleich zu vielen anderen Werkzeugen auf dem Markt, so dass es eine ideale Wahl für viele Wafer Herstellungsprozesse. AMAT ENDURA 5500 ist ein Einkammer-Horizontalreaktor, der mehrere Wafergrößen verarbeiten kann. Es ist für schnelle, hochpräzise Plasmaätz- und Abscheidungsprozesse ausgelegt. Das Gerät verwendet eine Gaseinspritzdüse am Boden der Kammer, um die Ätzgeschwindigkeit und den Wirkungsgrad zu erhöhen. Der Revolver des AMAT Endura 5500 ist mit kombinierten Lastschlössern und Gaseinspritzöffnungen ausgestattet, die im Vergleich zum manuellen Betrieb eine schnellere, kostengünstige Be- und Entladung ermöglichen. Das System verfügt über einige verschiedene Betriebsarten, darunter einen „Coil-to-Wafer“ -Modus, der wiederholbare Prozesszyklen und einen verbesserten Durchsatz ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist mit einer hochwertigen Quarzkammer und einem Deckel für die Vakuumintegrität ausgestattet. Diese Kammer ermöglicht hochpräzise Abscheide- und Ätzprozesse mit niedrigen Partikelwerten und deckt dabei einen weiten Bereich von Drücken und Temperaturen ab. Das Gerät ist auch mit einer leistungsstarken programmierbaren Steuerung gebaut, die sowohl automatische als auch manuelle Steuermodi umfasst, um alle Teile des Wafer-Herstellungsprozesses zu handhaben. ENDURA 5500 verfügt auch über eine fortschrittliche Waferreinigungsmaschine, die den Ertrag weiter verbessert. Es verwendet eine spezielle kraftangetriebene Bürste, die sich mit hohen Geschwindigkeiten dreht und alle Partikel effizient von der Oberfläche des Wafers entfernt. Das Tool enthält auch einen Echtzeit-Partikelmonitor, der schnell reagiert, um eine sichere Waferreinigung und Einbrennprozesskontrolle zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 ist ein äußerst zuverlässiges Werkzeug für die präzise Herstellung der modernsten Halbleiterbauelemente. Es bietet qualitativ hochwertige Leistung in Hochdurchsatz, Single-Wafer-Prozessen, so dass es eine wirtschaftliche Wahl für Wafer-Fertigungsoperationen. Die Anlage wird mit Komponenten mit hoher Ausdauer, niedriger Leistung gebaut, die einen präzisen und genauen Betrieb für viele Jahre gewährleisten können.
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