Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293752145 zu verkaufen
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ID: 293752145
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
PVD System, 8"
Signal cables: 25 M
(1) NESLAB
(2) Cryo compressors 9600
(2) Frequency converters
(2) Gen racks
Turbo Controller
RF and DC generator for Ch1/2/3/4/C/D
System configuration:
SNNF
HP Robot
Ch 1: A101 TiN
Ch 2: STD Al
Ch 3:STD Al
Ch 4: A101 TiN
Ch C: PCII
Ch D: PCII
Chambers:
LL: Widebody universal rotate
CH E: Orient/Degas
CH F: Orient/Degas
CH A: Passthrough with clear lid
CH B: Cooldown with clear lid
CH C: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH D: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH 1: Widebody G12 TiN – No shutter / AE MDX-L 12M-650
CH 2: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 3: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 4: Wideobdy G12 TiN – AE MDX-L 12M-650
System controller SBC Board missing
2000 vintage.
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