Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293763421 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein reaktives Ionenätzgerät (RIE) für die Halbleiterherstellung. Dieses System nutzt verschiedene Prozessgase und HF-Leistung, um Merkmale in ein Substrat zu ätzen. AKT Endura 5500 ist für mehrere Ätzchemien und Technologien konzipiert, einschließlich tiefer Dielektrika, flacher Trenchisolierung (STI) und Geräteätzen für feindliche Materialien. Es verfügt über eine 304 Edelstahl-Vakuumkammer, die 8-in-Wafer bis zu 30 cm2 Oberfläche verarbeiten kann. AMAT ENDURA 5500 umfasst erweiterte Sicherheitsfunktionen wie automatische Absperrventile, Kammerspülung, Pumpen und Sensoren, um einen sicheren Betrieb für Personal und Ausrüstung zu gewährleisten. Es bietet einen einfachen Kammerzugang, der es dem Benutzer ermöglicht, die Elektroden und Prozessvorrichtungen zu wechseln, ohne die Vakuumkammer zu öffnen. Dies ist vorteilhaft hinsichtlich Prozesseffizienz und Zeiteffizienz. Das Gerät ist mit einem masseisolierten Hochleistungs-HF-Netzteil ausgestattet, das HF-Leistung bis zu 2000W bei 13,56 MHz für eine schnelle und präzise Musterätzung bietet. Es verfügt auch über eine hochpräzise Antennenmaschine und schnell bewegliche Scanspulen, die auf die spezifischen Prozessbedingungen zugeschnitten werden können. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 verwendet maßgeschneiderte Algorithmen, die die Ätzprozessparameter innerhalb eines breiten Prozessfensters automatisch optimieren, um ein qualitativ hochwertiges Ätzprofil zu erhalten. Das RIE-Werkzeug ist mit mehreren Prozessgasinjektoren für höchste Flexibilität und optimierte Prozessfähigkeit, Gasmischkombinationsmethoden sowie eine präzise Drucksteuerung ausgelegt, um einen optimalen Prozess und exakte Ätzergebnisse zu gewährleisten. Das integrierte Modul Schnelle Prozessoptimierung ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung neuer Ätzprozesse. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA 5500 hat eine variable Temperaturregelung der Kammer sowie eine automatisch gesteuerte Substratvorwärmung. Es beinhaltet eine Software-Schnittstelle für einfachen Zugriff auf Prozessrezepte, Datenprotokollierung und empirische Parameteroptimierung. Insgesamt ist ENDURA 5500 ein modernes, kostengünstiges und hochflexibles reaktives Ionenätzmodell, das überlegene Ätzergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen liefern kann. Das Gerät ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen und Funktionen ausgestattet, die es zu einem zuverlässigen und effizienten Werkzeug für die heutige Halbleiterherstellung machen.