Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293778293 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Plasmaätz- und Abscheideausrüstung ist ein präziser, vielseitiger, prozessfähiger Parallelplattenreaktor, der fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprozesse zur Herstellung von Hochleistungsgerätestrukturen ermöglicht. AKT Endura 5500 wurde speziell für die Herstellung von Halbleiter-, optischen und photovoltaischen Bauelementen entwickelt und besteht aus zahlreichen Technologien, die Prozessflexibilität und hochauflösende Plasmaätzungen bieten - wie Elektronenzyklotronresonanz (ECR) und Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD D). AMAT ENDURA 5500 ist ein innovativer Parallelplattenreaktor, der eine kompakte und zuverlässige 800-MHz-ECR-Plasmaquelle, anpassbare Gaskästen und einen fortschrittlichen Plasmagenerator mit integrierten Prozesssteuerungen enthält, die eine direkte Analyse und Optimierung der Prozessergebnisse ermöglichen. Das ausgeklügelte System enthält auch eine fortschrittliche Elektronenenergie und Batch-Fähigkeit, eine hochgenaue Prozessdiagnose und eine fortschrittliche Temperaturkontrolleinheit. Der parallele Plattenreaktor der Schneidkante bietet fortschrittliche Prozessflexibilität, enge Temperaturregelung und Prozessgleichförmigkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA 5500 ist ideal für weiches und hartes Ätzen, Mustertransfer, Photolackabheben und Abscheidung für fortgeschrittene Epitaxie- und Passivierungsschichten. Das einzigartige Design der Vorrichtung ermöglicht einen variablen Gasstrom, der sowohl für Ätz- als auch Abscheidungsanwendungen genutzt wird. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist auch mit einer in-situ Turbomolekularpumpe ausgestattet, um Drücke und Prozessergebnisse zu steuern. Die verbesserte Konfiguration der Pumpe ermöglicht größere Druckbereiche und bietet eine überlegene Prozesssteuerung und die Fähigkeit, innovative neue Technologien wie direktes Trockenätzen (DDE) zu nutzen. Darüber hinaus bietet AKT ENDURA 5500 eine robuste Levey-Jennings/X-Y-Überwachung und automatisierte Prozessqualifizierung. Mit ihrer hochgenauen Diagnose und thermischen Prozessverfolgung garantiert die Maschine eine überlegene Prozessgleichförmigkeit. Durch sein innovatives Design ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 eine ideale Wahl für die Präzisionsherstellung von Halbleiter-, Photovoltaik- und MEMS-Bauelementen. Die im Tool enthaltenen fortschrittlichen Technologien ermöglichen es Prozessingenieuren und Technologen, den Produktionsdurchsatz der Kunden zu optimieren, ohne die Qualität zu beeinträchtigen. Darüber hinaus liefern der Remote-Plasmagenerator und die automatisierte Prozessqualifizierung der Anlage beispiellose Ergebnisse.