Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293809674 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 293809674
Wafergröße: 6"-8"
PVD System, 6"-8".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reaktor ist eine kompakte, kostengünstige, maßstabsgetreue und automatisierte Verarbeitungsanlage für die chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD) und chemisch-mechanisches Polieren (CMP). Mit dem innovativen Design von AKT Endura 5500 können Prozessingenieure Kosten senken und den Durchsatz verbessern. Das Herzstück von AMAT ENDURA 5500 ist eine leistungsstarke Reaktorkonstruktion mit hohem Durchsatz. Der Reaktor ist mit einer großen Kammer für bis zu 10 Substrate und einer integrierten Hochdurchsatz-Prozesstechnologie ausgestattet, die die Flexibilität bietet, die Prozessparameter für jede spezifische Anwendung zu modifizieren und zu optimieren. Die integrierte Prozesstechnik beinhaltet zudem eine dynamische Luftstromregelung, die eine optimale Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche gewährleistet. AKT ENDURA 5500 bietet ein ausgeklügeltes und funktionsreiches Automatisierungssystem, das die Handhabung und Überwachung von Substraten einfach und effizient macht. Das Gerät wurde für den Batch- und kontinuierlichen Betrieb entwickelt, um Prozessingenieuren die Flexibilität zu bieten, ihr Verarbeitungsprotokoll anzupassen. Darüber hinaus bieten die integrierten Steuerungssysteme eine adaptive Lernsteuerung in Echtzeit, die es dem Prozessingenieur ermöglicht, Prozessvariationen zu erkennen und zu eliminieren. ENDURA 5500 verfügt aufgrund seiner Niederdruckreaktionskammer über die Fähigkeit, CVD-, PVD- und CMP-Prozesse mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit durchzuführen. Damit können Verfahrenstechniker dünne, gleichmäßige Materialschichten auf dem Zielsubstrat erzeugen, was für eine optimale Geräteleistung unerlässlich ist. Darüber hinaus ermöglicht die Integration von Dual-Polarity-Targets eine variable Übersetzung und eine verbesserte Pulsfrequenz zur besseren Steuerung der CVD- und PVD-Prozesse. Die AMAT Endura 5500 ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen wie einem Inertgasüberwachungswerkzeug und einer Niederdruckspülung ausgestattet, die Prozessverunreinigungen verhindert und die Substratbelastung durch extreme Temperaturen begrenzt. Weitere Merkmale wie automatisiertes Wafer Mapping, geschlossene Prozessüberwachung und Corning LP4 Glasplattenrekalibrierung sorgen für höchste Prozessqualität. Insgesamt bietet AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 Verarbeitungsingenieuren eine effiziente und leistungsstarke Anlage, die speziell für die kostengünstige Verarbeitung von Substraten mit hohem Durchsatz und hervorragender Genauigkeit und Gleichmäßigkeit entwickelt wurde. Mit seinem leistungsstarken Reaktordesign mit hohem Durchsatz, einem ausgeklügelten Automatisierungsmodell und fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ist APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 eine ideale Wahl für Prozessanwendungen, die eine hochpräzise Dünnschichtabscheidung und CMP-Prozesse erfordern.
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