Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293819415 zu verkaufen
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ID: 293819415
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2019
PVD System, 8"
(2) Chambers
(2) Monitors
Wafers run: 50000
2019 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein Arbeitspferd-Ätzreaktor für hohe Ätzrate und Durchsatzleistung. Dieser Inline-Wärmebasierte Seitenwandbandätzreaktor ist ideal für die fortgeschrittene Mittel- bis Hochserienproduktion. Das Gerät verfügt über beeindruckende Spezifikationen mit einer Produktivität von bis zu fünfzig Wafern pro Stunde (wph) und einer Ätzrate von bis zu fünfzehn Mikrometern pro Minute (μ m/min). Darüber hinaus bietet sein aktiver Kassettendurchmesser Platz für bis zu elf Zoll (27,94 cm) Wafer oder Stücke bis zu vier Zoll (10,16 cm) dick. AKT Endura 5500 verfügt über ein fortschrittliches Plasmaätzdesign, das Gleichmäßigkeit und Produktausbeute gewährleistet. Das High Density Reactive Ion Etch (HDRIE) System besteht aus einer hochzuverlässigen reinen induktiven Energiequelle, die eine hervorragende Leistungsabgabe und Wiederholbarkeit bietet, einem End-Effektor, einem Paar hochwertiger Duschköpfe, einem effizienten Plattenspieler und einem hochmodernen automatisierten Prozesscontroller. Seine Gleichmäßigkeitskontrollmöglichkeiten reichen bis zu +/- zwei Mikrometer (μ m) im gesamten Wafer über einen Temperaturbereich von 20 ° C bis 80 ° C. Darüber hinaus ermöglichen die Optionen zur Prozesssteuerung und -überwachung den Betreibern, Probleme schnell zu erkennen und zu lösen oder einfach den gewünschten Prozess zu überwachen und zu erleichtern. Zur Sicherheit umfasst die Pipeline Metalldetektoren, Massenstromregler zur Gewährleistung der Sicherheit und des effizienten Betriebs sowie eine Flüssigkeits- und Gasfördereinheit. Das aktive Plenum wurde entwickelt, um eine optimierte Prozesssteuerung zu gewährleisten und die Ätzraten und den Durchsatz zu erhöhen. Es verfügt auch über eine effiziente, zuverlässige und wiederholbare Gasphasensteuerung mit Maschinenintelligenz, e SPS-Steuerung und kritischer Parameterüberwachung. AMAT ENDURA 5500 ist mit mehreren erweiterten Funktionen ausgestattet, um die Kontrolle und Sicherheit des Prozesses zu verbessern. Ein APPLIED MATERIALS Endura 5500 Waveform Generator (EWG) und Automated Spectroscopy (AS) dienen der präzisen Wellenformsteuerung und Optimierung des materialabtragenden Ionenstrahls. Echtzeit-Diagnose-, automatische Tuning- und Maschinenüberwachungsfunktionen sind ebenfalls in das Tool integriert, sodass Einspritz- und Vorschubgeschwindigkeiten manipuliert und optimiert werden können, um die Prozesssteuerung, den Durchsatz und den größten Ertrag zu verbessern. Schließlich ermöglicht ein On-Board Smart Diagnostic Asset Betreibern, schnell und präzise auf Feedback und Diagnosedaten zuzugreifen. Abschließend ist APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 ein fortschrittlicher, hochwertiger Ätzreaktor, der den anspruchsvollen Anforderungen der modernen industriellen Produktion gerecht wird. Dank seiner vielen Funktionen und Vorteile ist es eine ideale Lösung für das Ätzen von Gleichmäßigkeit, Durchsatz und Ausbeute in mittelgroßen bis großen Anwendungen.
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