Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293829116 zu verkaufen
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ID: 293829116
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Sputtering system, 8"
(2) PVD Endura type remote generator rack
(2) TxZ Gas cabinet
Buffer HP Robot, Transfer robot VHP Robot
AMAT 0 Heat exchanger
AMAT NESLAB III
AC Rack
Umbilical cable length: 25 feet
Chambers:
LLA Load lock A Narrow body with auto tilt
LLB Load lock B Narrow body with auto tilt
E / F Orient / Degas orienter / Standard degas
Clear lid wafer lifter
Cool down clear lid wafer lifter
Buffer HP Robot with metal blade
Transfer VHP Robot with metal blade
IMP Chamber:
Wide body chamber
IMP Source with magnet
Motorized lift assembly
UHV Gate valve (3-Position)
A101 Heater
Shutter assembly
HFV- 8000
MDX - L12 M-650 DC Power supply
HP T x Z Chamber:
Heater lift assembly
Gate valve
HP TxZ Heater
PDX - 900 - 2V
PC II Resonator:
Chamber body
Wafer lift
RF Match
RF CPS1001S
RF LF - 10 A
Missing parts:
9600 System Cryogenics compressor missing
(3) OB-8F Cryogenics pump (3PH) Missing (Buffer, X-fer, IMP)
(4) 361C Turbo pump missing (PC II 2ea, TxZ 2ea)
(4) Resistor on TxZ Lid missing
Operating system: VMS
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein Hochleistungs-Transfer- und Lithographiereaktor für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen. AKT Endura 5500 Geräte ermöglichen eine schnelle und genaue Musterübertragung und unterstützen mehrere Standardprozessmaterialien, einschließlich dotiertem Polysilizium, ein- und zweischichtigen Polysilizium-Gatestapeln und Hartmasken. Dieses System verfügt über eine große hochpräzise Kammer, schnelle Kühlung und ein mehrstufiges Lithographieverfahren, das eine genaue Musterreplikation über die gesamte Waferoberfläche gewährleistet. AMAT ENDURA 5500 bietet darüber hinaus High-End-Prozessfähigkeiten wie Deep Reactive Ion Etching (DRIE) und Pulsed Laser Deposition (PLD), die die Verarbeitung der heutigen ultradünnen Geräte ermöglichen. AKT ENDURA 5500 kann eine Vielzahl von Substraten halten, einschließlich Silizium, Galliumarsenid, Silizium auf Isolator und Glas. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 Einheit ist mit einem doppelten Servo-gesteuerten Stufenmechanismus gebaut, bietet ausgezeichnete Genauigkeit und Wiederholbarkeit für den Betrieb über einen weiten Bereich von Temperaturen. Es verfügt über eine dreizonige, hochauflösende interferometrische Mikroskopie (IRM) Maschine, um den gesamten Prozess zu überwachen. Das Tool verfügt über einen leistungsstarken Prozessor, mit dem die kritischen Dimensionen in Echtzeit für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen ausgelesen werden können. Darüber hinaus unterstützt AMAT Endura 5500 thermisches Glühen für Tieftemperaturverfahren zur verbesserten Haftung von Folien und Strukturen. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA 5500 beinhaltet auch ein einzigartiges Hot-Load/Cold-Unload-Feature, das die Belastung durch Luftverunreinigungen erheblich reduziert. Dies verbessert die Gerätequalität erheblich und senkt die Gesamtkosten der Geräteherstellung. Darüber hinaus verfügt die ENDURA 5500 auch über eine Vakuumkammer mit einer hochwertigen, magnetisch schwebenden, motorisch angetriebenen Blende, die eine präzise Schalung der Reaktionskammer für wiederholbare Operationen ermöglicht. Die Kombination aus High-End-Lithographie, Wiederholbarkeit und Genauigkeit macht AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 zur idealen Lösung für fortschrittliche Halbleiteranwendungen. Es bietet Kunden die Leistung und Zuverlässigkeit, die sie für ihre wirtschaftlich kritischsten Prozesse benötigen.
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