Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9015795 zu verkaufen

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reaktor ist eine industrielle Ausrüstung zur präzisen Abscheidung von Funktionsfolien wie Dielektrika und metallhaltigen Folien für mehrere Gerätetypen. Je nach Anwendungsfall kann das System für eine Vielzahl von Abscheidungsverfahren wie Atomschichtabscheidung (ALD), chemische Dampfabscheidung (CVD) und physikalische Dampfabscheidung (PVD) eingesetzt werden. Der Reaktor besteht aus zwei Hauptkammern: der Hauptkammer und der Duschkopfkammer. Die Hauptkammer ist dort, wo der Abscheidungsprozess stattfindet. Es ist mit drei 300 mm kapazitiv gekoppelten Plasmaquellen, drei Gaszufuhrsystemen und sechs HF-Bias-Quellen ausgestattet. Die Gasfördereinheit kann bis zu 100 Gase bei zwei unterschiedlichen Drücken verteilen. Die HF-Vorspannungsquellen ermöglichen die Optimierung von Abscheiderate und Filmeigenschaften. Die Duschkopfkammer dient zur Vorreinigung von Wafern vor und nach dem Abscheiden. Die Kammer ist mit einem höhenverstellbaren automatisierten Roboterarm ausgestattet, mit dem der Wafer während der Vorreinigungsprozesse gehalten werden kann. Die Kammer kann mit bis zu 500 mtorr Stickstoff oder Argon beaufschlagt werden. AKT Endura 5500 Reaktormaschine ist für die Niedertemperaturabscheidung von Filmen von 25 ° C bis 650 ° C ausgelegt. Es verfügt über ein fortschrittliches Temperaturregelwerkzeug, das eine präzise Temperaturregelung auf 0,1 ° C bietet. Die Anlage ist mit drei Lastschloss-Transferkammern ausgestattet, die jeweils bis zu 60 Wafer speichern können. Es verfügt über einen Energiesparmodus, der dazu beiträgt, Energie im Leerlauf zu sparen. Das Modell ist für die Serienfertigung mit einer Wafer-Zykluszeit von 12 Minuten ausgelegt. Es weist außerdem eine Wafer-für-Wafer-Film-Dicke-Überwachung auf, die eine Echtzeit-Rückkopplung des Abscheidungsprozesses liefert. Darüber hinaus ist die AMAT ENDURA 5500 Reaktorausrüstung sicherheitshalber ausgelegt und verfügt über eine Notabschaltmöglichkeit. Es ist mit einer eingebauten Ausbruchdetektion ausgestattet, die sicherstellt, dass alle Gase und Plasma jederzeit in der Kammer verbleiben. Zusätzlich ist das System mit einer zeitgesteuerten Türeinheit ausgebildet, die es jeweils nur einem Bediener ermöglicht, die Kammer zu betreten oder zu verlassen. Insgesamt ist die AMAT/AMAT Endura 5500 Reaktormaschine ein hochpräzises Werkzeug, das hervorragende Folieneigenschaften für mehrere Gerätetypen bietet. Es ist für Niedrigtemperaturpräzisionsabsetzungsprozesse ideal und wird mit erhöhten Sicherheitseigenschaften für den maximalen Betreiberschutz ausgestattet.