Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9030866 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9030866
PVD system, 8"
System software ver: C8.622
System Platform: Endura
Wafer Shape: SNNF
EMO Type: Turn to Release
CE Safety Mark: English
CIM Configuration: SECS
SBC Version: V452
Mainframe Configuration:
Buffer Robot Type: HP
Buffer Robot Blade: Thin Metal
XFER Robot Type: VHP
XFER Robot Blade: Original Metal
Lid Hoist: Yes
Status Light Tower: RYG
Remote Monitor: Table Mount
Sub-System Configuration:
(1) Chiller: Model: None
Cryo Pump Type: CTI Cryo- on board 8F
Cryo Pump Power: 3 Phase
(2) CompressorS
Compressor Type: 9600
Loadlock Configuration:
Loadlock Type: Narrow body
Auto Rotation: Yes
Cassette Type: 8"
Mapping Function: WFM
Vent Type: Variable Speed
Fast Vent Option: Yes
LLKs NB w/Auto Tilt
A Pass-thru
B Cool Down
E O/D (Std)
F O/D (Std)
C PCII w/Cryo Std
D PVD TiN 101
1 PVD Tungsten (W) HT-ESC - Chamber has UV Flash for ESC E-Clean
2 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact.
3 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact
4 PVD Al/Cu SLT-ESC Complete
5 Iso-Valve (Manual) -
Bfr HP
Txfr VHP (Style Lid)
PVD Hot-Al Chambers: These are Water-Cooled Chamber bodies (can't use for other processes which use Wide-Body Chambers
Gas Information:
Gas Box Pneumatic Valve: Single
Pneumatic Valve Type: Veriflo
Manual Valve Type: Veriflo
MFC Type: FC-780C
Gas Line Out: Out The Back
Modules:
M/F Yes
Sys/AC Yes
EQ1 Yes
EQ2 Yes
Main/AC Yes
AC Dist Box Yes
Cryo Comp 3 - 9600
Heat Ex Yes, Neslab III
Pumps No Pumps included with any tools
Lift Hoist non-AMAT, Gantry & 250lb hoist
Umbilical Configuration:
Controller to Main AC: 50 Feet
Controller to Mainframe: 50 Feet
Mainframe to Generator: 50 Feet
Remote Monitor: 50 Feet
Mainframe to Compressor: 50 Feet
Main AC to pump: 50 Feet
AC Box to Heat Exchanger: 50 Feet
Controller to Gen Rack: 50 Feet
Gen Rack to Gen Rack#2: 50 Feet
Electrical Configuration:
Line Voltage: 200V
Full Load Current: 487A
Remote Transformer: No
Frequency: 60Hz
Missing Parts:
Chamber E: Orientor PCB
Chamber F: Orientor PCB
Chamber 2: Missing upper chamber lid
Chamber 3: Missing upper chamber lid
Chamber C: Missing upper chamber lid
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein einzelner Waferbearbeitungsreaktor mit fortschrittlicher Funktionalität für eine breite Palette von Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Dieser intuitiv gestaltete Reaktor wurde entwickelt, um die Produktivität und Prozessflexibilität zu maximieren, sodass Anwender nicht planare, planare und komplexe Gerätestrukturen mit überlegenen Prozessfähigkeiten durchführen können. AKT Endura 5500 ist mit einer unübertroffenen thermischen Fähigkeit ausgestattet, die durch seine fortschrittliche Dreizonen-Heiz- und Kühltechnologie angetrieben wird und es Anwendern ermöglicht, die Temperaturen für eine gleichmäßige Reaktion über die gesamte Waferfläche genau zu steuern. Diese Wärmeleistung wird weiter durch die gleichförmige Medieneinspritztechnik ausgestattet, die eine präzise Steuerung und homogene Verteilung von Prozessgasen ermöglicht. Dadurch können Anwender optimale Folienprofile mit wiederholbarer und gleichbleibender Leistung erzielen. Weitere Merkmale des Reaktors sind hohe Verfügbarkeit, reduzierte Ausfallzeiten und eine hervorragende Prozesssteuerung. In Bezug auf Sicherheit und Umweltschutz erfüllt AMAT ENDURA 5500 Sicherheitsstandards wie UL/CSA mit Funktionen wie den hermetischen Gehäusen zum Schutz des Personals vor potentieller Exposition gegenüber gefährlichen Prozessmaterialien. Darüber hinaus ist der Reaktor mit fortschrittlichen Diagnosetools ausgestattet, die eine einfache und effiziente Überwachung sowie eine zusätzliche Prozessvalidierung ermöglichen. Der Reaktor bietet zudem eine verbesserte Prozessgleichmäßigkeit in Kombination mit einem erweiterten Prozessfenster im Vergleich zu herkömmlichen thermischen Prozessen, was eine erhöhte Flexibilität und einen höheren Durchsatz ermöglicht. Neben seiner überlegenen thermischen Leistung bietet APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 Anwendern flexible Steuerungsoptionen mit programmierbaren Zufuhr-/Entlüftungsoptionen und erweiterten I/O-Konfigurationen, die eine effiziente In-situ-Prozesssteuerung unterstützen. Zusätzlich nutzt der Reaktor chemische Eindämmung und strömungsarme Modi, um einen effizienten Betrieb und optimierte Erträge zu ermöglichen. Mit seinen präzisen Bewegungsreglern sind Anwender in der Lage, kleine, aber präzise Bewegungssteuerung mit schneller Kalibrierung zu erreichen, und die Integration in Systeme von Drittanbietern ist auch verfügbar. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 ein leistungsstarker, benutzerfreundlicher und sicherer Reaktor, der Abfall und Gesamtkosten minimiert. Es bietet energiesparende Technologie, überlegene thermische Leistung, reduzierte Ausfallzeiten und eine ausgezeichnete Prozesssteuerung und ist damit eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterindustrie.
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