Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9064236 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9064236
System, 8"
Process CH. 3: AL, CH. D: PC2(Oxide Etch )
Software version Unknown
Wafer Shape SNNF
Wafer Cassette 8”PEEK Miraial
SMIF Interface None
Heat exchanger: none
Chamber A COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber B COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber D PC2(Cryo Type)
Chamber E Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber F Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber 3 AL(Wide Body)
Transfer:
Load LockA/B Type Narrow automated tilt out
Transfer Robot Type HP+
Transfer Robot Blade Metal
Buffer Robot Type HP+
Buffer Robot Blade Metal
Buffer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Transfer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Chamber D:
Process Type Oxide Etch
Chamber Body Cryo Type(AMJ：0020-23249)
Pedestal Parts No. AMJ ：0010-20754
Lift Assy Parts No. AMJ ：0010-20753
Power Supply (kw) AMJ ：0190-70099
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 300sccm(SEC-4400MC)
Chamber 3:
Process Type AL
Chamber Body Wide Body(AMJ：0040-20195)
Source Type Standard
Target Type Unknown
Magnet Type AMJ ：0010-20225(Mechanical Fail)
Magnet Shim Size 0.5MM
Lift Assy Parts No. 0010-70271
Heater Parts No. 0010-12516
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Cryo Gate Valve Type 3Positon
Cryo Pump Type Enhanced(8116071G001)
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 100sccm(SEC-4400MC)
Cryo compressors:
(1) BROOOKS 8510, gas: He (99.999%pure)
(1) BROOOKS 8500, P/N: 8031348G001, gas: He (99.999%pure)
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein fortschrittlicher, hochentwickelter vertikaler thermischer Reaktor, der Hochtemperaturglüh-, Oxidations- und Nitridierungsprozesse auf einer Vielzahl von Materialien durchführen kann, die am häufigsten in der Halbleiter- und MEMS-Industrie verwendet werden. Dieser Reaktor verfügt über ein einzigartiges Doppelkopfdesign, das zwei Substrate gleichzeitig verarbeiten kann und eine eingebaute Vakuumpumpe enthält. Die AKT Endura 5500 ist mit modernsten Heizelementen und einer robusten, digitalen Temperaturregelung ausgestattet, die eine präzise, gleichmäßige thermische Verarbeitung gewährleistet. Das Steuerungssystem ermöglicht auch ein leichtes Rampen und Schritt- und Verweilen von Heizprofilen für eine Vielzahl von Temperaturregimes und ermöglicht die Integration zusätzlicher Heizelemente für höhere Temperaturen. Die AMAT ENDURA 5500 verfügt zudem über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für einfache Bedienung, eine integrierte Interlock-Einheit, die Sicherheitsprotokolle gewährleistet, und eine Vielzahl konfigurierbarer Parameter für jede spezifische Anwendung. Das Design von APPLIED MATERIALS Endura 5500 umfasst eine langlebige Edelstahlkonstruktion mit einfachem Zugang zu austauschbaren Komponenten und mehreren Gaseinlässen für die Spül- und Reaktionsgaseinleitung. Der Reaktor ist außerdem mit einem 90-Zoll-Sichtfenster und einer optionalen Sichtkamera sowie einer mechanischen Hebe- und Gewichtsmaschine ausgestattet, um das Be- und Entladen zu erleichtern. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA 5500 ist in der Lage, Wafer und Substrate bis zu einem Durchmesser von 6 Zoll zu verarbeiten, ist in der Lage, Substrate unterschiedlicher Dicke einschließlich Standard- und ultradünner Substrate zu verarbeiten und hat eine maximale Prozesstemperatur von 1100 ° C. Dieser überlegene Reaktor bietet darüber hinaus eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Flexibilität in der Substratkonfiguration. Damit ist AKT ENDURA 5500 ideal für eine Vielzahl von Hochtemperaturglüh-, Oxidations- und Nitridierungsprozessen.
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