Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9082608 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9082608
HP PVD System, 6"
(2) Wide body with 11.3 source
(1) Standard body with 11.3 source
Narrow body load lock
Process: Al, TiN, Ti
(3) Process chambers
(1) PCII chamber
(2) Degas / Oriented chambers and TC monitor
VHP robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein Hochleistungsreaktor für eine Vielzahl von Anwendungen zur Verarbeitung von Präzisionsmaterialien. Es ist eine integrierte, modulare und erweiterbare Ausrüstung, die überlegene Leistung und Zuverlässigkeit bietet. AKT Endura 5500 bietet maximale Flexibilität für Industrie- und Forschungsanwendungen. Es verfügt über eine gut gestaltete, mehrschichtige Wafer-Lade- und Verarbeitungsplattform, die bis zu acht Tonnen Materialien aufnehmen kann. Mit integrierter Flüssigkeitszufuhr, sauberem Raum und Hi-Vacuum-Hardware ist das System in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu handhaben, von einfachen Metallen bis hin zu komplexen Polymeren und Keramiken. AMAT ENDURA 5500 verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Automatisierungsfunktionen, einschließlich einer proprietären virtuellen Reaktionszone (VRZ), um den Reaktorprozess jederzeit zu überwachen und zu verwalten. Dies ermöglicht eine automatisierte und prädiktive Kontrolle der Kammerbedingungen. Darüber hinaus bietet die VRZ-Ansicht eine benutzerfreundliche Oberfläche, mit der Benutzer die Reaktionsbedingungen mit verständlichen Grafiken und Text laden, auswerten und überwachen können. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 bietet einfache Wartung und Wartbarkeit und bietet bequemen Zugang zu allen Komponenten für die Reparatur. Es wird durch eine Vielzahl von erweiterten Funktionalitäten unterstützt, wie Temperatur- und Druckkontrolle, und ein integriertes elektronisches Logbuch und Datenerfassungseinheit. Die Maschine ist auch mit einem eingebauten Reinigungswerkzeug ausgestattet, das eine schnelle Reinigung und Wiederherstellung nach dem Herunterfahren ermöglicht. Dies reduziert die Materialabscheidung, so dass Benutzer saubere Substrate pflegen und den Abbau der verwendeten Materialien reduzieren können. APPLIED MATERIALS Endura 5500 verfügt zudem über einen integrierten Kompakt Asset, ein vorkonfiguriertes modulares Modell zur Steuerung von elektrischen und Vakuumdrücken. Endura 5500 verfügt auch über hochleistungspulste HF- und Temperaturregelungssysteme für überlegene Substratheizung. Das Gerät bietet eine hochpräzise Heizungssteuerung, die eine gleichmäßige Substratheizung bei jeder gegebenen Temperatur gewährleistet. Es bietet auch extrem schnelle und präzise Probenheizung und Kühlung, so dass schnellere Verarbeitungszyklen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 ein fortschrittlicher, hochleistungsfähiger und flexibler Reaktor, der speziell für präzise Materialbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet überlegene Zuverlässigkeit und Leistung mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen wie der VRZ-Ansicht. AMAT Endura 5500 ist mit seiner einfachen Wartung und Wartungsfreundlichkeit, dem schnellen Reinigungs- und Rückgewinnungssystem, dem hochleistungspulsfähigen HF und der Temperaturregelung die ideale Wahl für eine anspruchsvolle und präzise Substratverarbeitung.
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