Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9134810 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist eine Hochleistungsreaktorausrüstung, die für eine breite Palette fortschrittlicher Materialbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. AKT Endura 5500 verfügt über ein hochmodernes Design, das einen hohen Durchsatz und eine hohe Prozessflexibilität ermöglicht. Das System bietet die Möglichkeit, mehrere Prozesskammern mit einer HF-Quelle gleichzeitig zu versorgen und kann entweder mit LP-GF14 oder ICP-GF14 Quellen betrieben werden. Das einzigartige Design des Geräts ermöglicht eine hohe Geschwindigkeit der Gasverteilung und Gasflussanpassung. Die Prozesskammer ist in einem thermisch stabilen Vakuumgefäß mit Quarzfenstern eingeschlossen, die den Zugang zur Prozesskammer für Wafer, Suszeptor und Probeninspektion während des Prozesses ermöglichen. Die Kammer ist mit CVD-beschichtetem Ablatormaterial ausgekleidet, das maximale Leistung und zuverlässige Prozesskontrolle gewährleistet. Die Kammer kann auch mit einer optionalen bordeigenen Infrarotkamera ausgestattet werden, um eine Echtzeitüberwachung von Prozessebenenparametern zu ermöglichen. AMAT ENDURA 5500 ist mit einem integrierten Softwarepaket zur Prozesssteuerung ausgestattet, das eine einfache Rezepterstellung und Datenprotokollierung ermöglicht. Prozessrezepte werden über eine grafische Benutzeroberfläche entwickelt, so dass Benutzer die Parameter und Rezepte, die für eine erfolgreiche Abscheidungsrate verwendet werden, einfach visualisieren können. Die fortschrittliche elektronische Steuerung des AMAT Endura 5500 bietet zudem eine überlegene Prozesswiederholbarkeit und Leistungsqualität. Die Schnellimpulsfunktionen ermöglichen eine schnelle Flächenwiderstands- und Filmdickenregelung, während Feinabstimmungen Zugriff auf spezifische Merkmale wie die Optimierung des Oxidabscheidungsverhältnisses bieten. Das integrierte Datenlogging-Paket speichert detaillierte Prozessdaten. Darüber hinaus verfügt AKT ENDURA 5500 über eine integrierte Ionenstrahl-Reinigungstechnologie für die Substratkonditionierung und bietet in Kombination mit dem integrierten Reinigungsgasabgabebedarf eine optimierte Methode zur Entfernung von Verunreinigungen aus dem Wafer vor der Prozessabscheidung. Endura 5500 ist ein vielseitiges Werkzeug, das für eine breite Palette von fortschrittlichen Materialbearbeitungsanforderungen geeignet ist. Es bietet eine zuverlässige, leistungsstarke Maschine mit einer Vielzahl von Prozess-Integrationsfunktionen, die die Prozessqualität maximieren und die Werkzeugkomplexität reduzieren sollen. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA 5500 ist eine ideale Wahl für alle anspruchsvollen Materialbearbeitungsanforderungen.