Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9142611 zu verkaufen
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ID: 9142611
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1992
Sputtering system, 6"
Process: PVD
(3) Chambers
Load lock type: Wide
1992 vintage.
AKT AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein hochentwickeltes CVD-Bearbeitungswerkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen in Laborumgebungen. Dieses 600mm-Werkzeug verwendet das Heißwand-CVD-Verfahren, das funktioniert, indem Reaktantgase in die Prozesskammer eingeleitet werden, die zusammenwirken, um die gewünschte Produktschicht auf dem Substratmaterial zu bilden. AKT Endura 5500 Reaktor bietet einen modularen Aufbau, der es Forschern ermöglicht, die Ausrüstung an ihre Bedürfnisse anzupassen. Der Reaktor arbeitet aus einer Vier-Kammer-Konstruktion, die um einen zentralen Substrathalter gebaut ist, so dass Forscher mehrere Schichten Film auf einem einzigen Substrat in einem Zyklus erzeugen können. AMAT ENDURA 5500 bietet eine hervorragende Steuerung mit einem hocheffizienten und optimierten Heizsystem, mit dem Temperaturen bis zu 1100 ° C erreicht werden können. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Durchflussregelung, die hilft, genaue und wiederholbare Durchflussraten von Dämpfen zu erreichen, um eine gleichmäßige Abdeckung des Substratmaterials zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgt die fortschrittliche Temperaturregeleinheit des Werkzeugs für eine gleichmäßige Temperaturverteilung innerhalb der Prozesskammer. Dies hilft bei der Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Temperaturgleichförmigkeit über Substrate, was für die Erzeugung hochwertiger Folienschichten unerlässlich ist. Bei der Verwendung für Abscheidungsanwendungen ist APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 in der Lage, mehrere Folienschichten gleichzeitig zu erzeugen, was den Durchsatz des Labors erheblich erhöht. Dank seiner leistungsstarken Kontrollmaschine ist es auch einfach, die Prozessbedingungen zu überwachen, wodurch APPLIED MATERIALS Endura 5500 sowohl für den manuellen als auch für den automatischen Betrieb geeignet ist. Darüber hinaus ist das Werkzeug sehr flexibel und kann für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen wie Dielektrikum, Metallätzen und integrierten Passivierungsschichten verwendet werden. Insgesamt ist AMAT ENDURA 5500 ein fortschrittliches CVD-Bearbeitungswerkzeug, das die Herstellung von Halbleiterbauelementen durch hochwertige und hochpräzise Abscheidung von Folienschichten ermöglicht. Dieses 600mm-Werkzeug bietet eine ausgezeichnete Temperaturregelung und eine hochgenaue Durchflussregelung, die eine gleichmäßige Abdeckung des Substratmaterials gewährleistet. Es verfügt zudem über eine leistungsstarke Überwachungskontrolle und ist dank seiner modularen Konstruktion sehr flexibel, sodass Forscher das Modell an ihre spezifischen Bedürfnisse anpassen können.
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