Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9145241 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 9145241
Wafergröße: 12"
Spares for PVD Chamber CPO- VMO, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein Hochleistungsreaktor für fortgeschrittene Abscheide- und Ätzanwendungen. Insbesondere ermöglicht AKT Endura 5500 sowohl Dünnschicht- als auch Dickschichtabscheidungsprozesse sowie anspruchsvolle Ätzprozesse sowohl bei thermischen als auch bei plasmaverbesserten Abscheide- und Ätzanwendungen. Der Reaktor ist sowohl für CVD- als auch für PECVD-Prozessschritte für Anwendungen wie Silizium, Titannitrid, Galliumarsenid, Wolfram und Aluminium konzipiert. AMAT ENDURA 5500 Reaktor ist ein offener Rahmen für fortgeschrittene Abscheidungs- und Ätzprozessanforderungen. Dieses Open-Frame-Design ermöglicht eine bessere Zugänglichkeit zu den inneren Arbeitsabläufen des Systems, was eine einfachere Wartung und eine schnellere Systemrekonfiguration ermöglicht. Seine flexible Architektur bietet Systemintegrationsfunktionen mit einer Vielzahl austauschbarer Komponentensysteme, die leicht ausgetauscht werden können, um unterschiedlichen Anforderungen gerecht zu werden. ENDURA 5500 verfügt über mehrere thermische Fähigkeiten, darunter RF, Helicon induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), Gleichstrom (DC) und gepulste DC-Bias-Modi. Seine einstellbaren Prozessparameter reichen vom Prozessdruck, der QuellgasimpulsVerweilzeit und der RF-Leistung. Es verfügt auch über einen patentierten Z-Achsen-Wafer-Schlitten, der bis zu 12 Wafer gleichzeitig aufnehmen kann, was eine erhöhte Gleichmäßigkeit und effizientere Verarbeitung ermöglicht. Diese Konstruktion ermöglicht auch eine einfache Isolierung von Abscheide- und Ätzschritten. AMAT Endura 5500 hat sich als zuverlässiges System mit einer Vielzahl von Funktionen bewährt, die den Anwendern die vollständige Kontrolle über ihre Prozessbedingungen bieten. Es verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche, die Anwendern eine Echtzeit-Prozessüberwachung, Trendfunktionen und vorausschauende Analysen bietet, um die Prozessoptimierung sicherzustellen. Diese Funktionen geben Benutzern die Flexibilität, ihre eigenen benutzerdefinierten Einstellungen einzuwählen und ihre Prozessleistung zu optimieren. Obwohl es teurer ist als vergleichbare Systeme, bietet AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 echte Skalierbarkeit und kann eine breite Palette von Anforderungen erfüllen, von Hochdurchsatzproduktionen bis hin zu spezialisierten Prozessschritten.
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