Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9164914 zu verkaufen
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ID: 9164914
Weinlese: 1996
PVD System
Max system rating: 150KW
(2) Precision chamber
(2) Degases chamber
(2) Deposition chamber
Substrate size: 8"
Throughput: 35" Wafers / Hour
Thickness uniformity: ±2%
1996 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein handladendes CVD-Gerät (Chemical Vapor Deposition), das für ein breites Anwendungsspektrum konzipiert ist. Dieses System besteht aus einer Vakuumkammer, einer Hochdruckgasmischeinheit, einer Roboterabgabemaschine und einem Regler. AKT Endura 5500 wird hauptsächlich bei der Abscheidung und Ätzung von Materialien aus Halbleiter-, Mikroelektronik, MEMs, Energie und optischen/photonischen Komponenten eingesetzt. AMAT ENDURA 5500 verwendet das CVD-Verfahren, um Filme auf Substraten abzuscheiden. CVD ist ein Verfahren, das eine Gasphasenreaktion von Materialdampf mit einem Substrat verwendet, um einen abgeschiedenen Film zu erzeugen. Dieses Verfahren wird häufig verwendet, um Halbleitermaterialien wie Metallleiterbahnen, Barriereschichten und Gatedielektrika zu erzeugen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 kann eine breite Palette von Materialien wie Oxide, Nitride, Karbide und Metalle abscheiden, unter anderem. AMAT Endura 5500 verwendet ein dreistufiges Hochdruckgasmischwerkzeug. Diese Anlage ermöglicht eine präzise Steuerung der im Abscheidungsprozess verwendeten Prozessgase. Während eines typischen Abscheidungsprozesses wird das Mischmodell verwendet, um das Gas auf die Substratoberfläche zu bewegen, wo die Abscheidungsreaktion stattfindet. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 ist mit einer Roboterabgabevorrichtung zum Bewegen und Abgeben des Prozessmaterials auf die Substratoberfläche ausgestattet. Der Roboterarm wird verwendet, um das Material an genauen Stellen für eine gleichmäßige Verteilung zu positionieren. Endura 5500 enthält auch mehrere Funktionen, die den sicheren Betrieb unterstützen, wie Drucksensoren und eine automatisierte Sicherheitsabschaltung. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA 5500 wird von einem Controller gesteuert, der alle Komponenten des Systems integriert, so dass Bediener den Prozess überwachen und steuern können. Der Controller ist mit branchenüblichen Softwarepaketen wie MATLAB und LabVIEW kompatibel, um eine Einheitenintegration für fortschrittliche Prozesssteuerung und Automatisierung zu ermöglichen. Insgesamt ist AKT ENDURA 5500 eine fortschrittliche CVD-Maschine, die für ein breites Anwendungsspektrum in der Materialabscheidung und -ätzung konzipiert ist. Dieses Werkzeug ist mit Funktionen ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Prozesses ermöglichen und für einen sicheren Betrieb sorgen. Darüber hinaus ist ENDURA 5500 kompatibel mit branchenüblichen Softwarepaketen zur Asset-Integration und Prozessautomatisierung.
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