Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9182838 zu verkaufen
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ID: 9182838
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Sputtering system, 6"
Process: PVD
(4) Chambers
Load lock type: Narrow
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein CVD-Reaktor für die Herstellung einheitlicher Halbleiterfilme. AKT Endura 5500 verwendet fortschrittliche Designprinzipien, um die Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit der Filmabscheidung zu gewährleisten. Es verwendet zwei unabhängige Prozessstationen, eine für die Abscheidung und eine für die Ätzung, so dass Benutzer Wafer mit mehreren Schritten in einem einzigen Werkzeug schnell bearbeiten können. Jede Prozessstation besteht aus einer „Prozesskammerhülle“ und einer Reihe von Prozessmodulen. Die Prozesskammerumhüllung besteht aus Komponenten wie dem Gasverteilerkrümmer, dem Prozessrohr und der Vakuumkammer. Diese Komponenten steuern Gasfluss und Druck, Gashomogenität und Gleichmäßigkeit sowie Systemreinheit. AMAT ENDURA 5500 verwendet Hochleistungsrohre, Wirbel, Pumpen und Dämpfer, die speziell entwickelt wurden, um eine gleichmäßige Abscheidung von dünnen Filmen zu gewährleisten. Das System soll die chemische Wechselwirkung mit dem sublimierenden Material minimieren, die dabei entstehende Wärme absorbieren und in die Umgebung abführen. Es hilft auch, das Risiko von Partikelverunreinigungen zu reduzieren. ENDURA 5500 ist hochgradig anpassbar und bietet eine Vielzahl von Funktionen, die eine präzise Kontrolle der Substrattemperatur, der Prozessgase und des Druckniveaus ermöglichen. Es enthält auch eine Vielzahl von optionalen Zubehör wie einem Heißwandheizblock, Gasförderkrümmer und Ätzduschkopf, um den Abscheidungsprozess für spezifische Anwendungen zu optimieren. Die Umgebung innerhalb der Kammer wird während des Abscheideprozesses stark kontrolliert, da alle Prozessparameter durch die XRH-Software des Werkzeugs genau überwacht und gesteuert werden. Dadurch kann die Folienqualität konstant und gleichmäßig aufrechterhalten werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA 5500 ist für minimale Wartung und optimale Langlebigkeit ausgelegt. Es kann vor Ort vollständig gewartet werden und ist leicht aufrüstbar. Darüber hinaus wird seine Einheitlichkeit in der Branche hoch respektiert und bietet einen hohen Durchsatz und eine hohe Wirtschaftlichkeit. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterhersteller und Forschungseinrichtungen, die zuverlässige und fortschrittliche CVD-Technologie benötigen.
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