Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9193779 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reaktor ist eine hochmoderne chemische Bedampfungsanlage für hochwertige Forschungs- und Produktionsanforderungen. Es verfügt über intuitive, benutzerfreundliche Software sowie präzises Engineering und fortschrittliche Prozesssteuerung. AKT Endura 5500 ist gut geeignet für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Abscheidung von ultradünnen Schichten von Materialien und Vorläufern, anorganische und organische chemische Dampfabscheidung (CVD) von Metalloxid und Metallnitrid dünne Filme, und Atomschichtabscheidung (ALD). Es ist eine ideale Wahl für großflächiges Dünnschichtwachstum mit seiner großen Suszeptor-Größe, schneller Reaktionszeit, sehr anpassbaren Kammerkonfigurationen und schnellen Rampenraten. Das metalldichte AMAT ENDURA 5500 System verfügt über automatisierte Wafer-Handhabung, programmierbare Kammerkonfigurationen und eine modulare elektrische Einheit. Für die ultradünne Schichtabscheidung bieten die werkseitig abgestimmten Quellkonfigurationen von AKT ENDURA 5500 eine präzise Kontrolle über den Abscheidungsprozess. Diese Präzisionsquellen reduzieren Substrat-Substrat-Interferenzen, um eine gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 verfügt auch über Dual-Deposition-Source-Ports, so dass der Benutzer mehrere Materialien gleichzeitig ablegen kann. Der 5500 ist auf einer Basisplattform aufgebaut, die für eine einfache Integration in hohe und mittlere Vakuumprozesse konzipiert ist, von der scheibenförmigen Dünnschichtabscheidung bis zur Gasphasensynthese von Nanostrukturen. Seine Edelstahlkonstruktion bietet überlegene mechanische Stabilität. Die Kammerwände weisen hochvakuumkompatible Flexdurchführungen auf, die Werkzeugen und Prozesssensoren einen externen Zugang zum Innenraum der Kammer ermöglichen. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA 5500 verwendet eine In-situ-Lastschloßmaschine für die schnelle und effiziente Handhabung von bis zu 300mm Wafern mit Gasspülung und thermischen Backfunktionen für die Prüfung von Prozessbedingungen vor der Einführung in die Hauptabscheidekammer. Dieses Lastverriegelungswerkzeug trägt zur Minimierung der Verschmutzung bei und gewährleistet eine gleichmäßige, reproduzierbare Dünnschichtabscheidung. Der 5500 umfasst fortschrittliche Temperatur- und Druckregelungssysteme, um jeden Prozess zu optimieren. Jeder Prozess wird entwickelt, um eine präzise Temperaturregelung in der gesamten Kammer zu gewährleisten. Eine optionale Bubbler-basierte Feuchtigkeitskontrolle ermöglicht es dem Benutzer, verschiedene Quellen wie nasse Vorläufer und Reaktanten und befeuchtete Gase zu verwenden, um die Abscheidung von Material mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit zu unterstützen. Das Modell verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, einschließlich einer Ionenüberdrucküberwachungseinrichtung, die den Kammerdruck jederzeit überwacht. Eine Reihe von Sicherheitssensoren wird ständig überwacht, und das System ist mit einer breiten Palette von HMI und Warnungen ausgestattet, um die Integrität der Einheit zu gewährleisten. Insgesamt ist ENDURA 5500 eine robuste und zuverlässige Maschine, die eine ausgeklügelte und intuitive Steuerungsplattform für eine optimale Dünnschichtabscheidung bietet. Seine benutzerfreundliche Software, vielseitige Kammerkonfigurationen und Lastverriegelungswerkzeug und erweiterte Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Forschungs- und Produktionsanwendungen.