Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9202549 zu verkaufen
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ID: 9202549
Wafergröße: 8"
PVD System, 8"
Accessories not included
NESLAB III
Robot: HP (Buffer and transfer)
Loadlock: Narrow body
Chamber A: Pass thru
Chamber B: Cool down
Chamber C: Preclean PIK II
Chamber E / F: Orienter / Degas
Wide body: AlCu, TiN
Water cool: MCA+ / 9600 Compressor.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor ist eine innovative Halbleiterverarbeitungsanlage, die eine präzise Plasmabearbeitung und -ätzung verschiedener Substrate ermöglicht. Es ermöglicht eine fortschrittliche Materialbearbeitung auf nanoskaligen Ebenen und ist ideal für die Herstellung von Hochleistungsgeräten. Die fortschrittliche Architektur des AKT Endura 5500 verfügt über eine breite Palette konfigurierbarer Prozessmodule. So können Anwender die Prozessparameter genau auf die Bedürfnisse einzelner Anwendungen einstellen. Das System bietet auch mehrere Gassteuerungsmöglichkeiten, die die Fähigkeit verschiedener Prozessgase innerhalb einer Einheit ermöglichen. Diese Verfahren umfassen Ätz-, Stripp-, Oxidations-, Nitridations- und andere Interdiffusionsprozesse. AMAT ENDURA 5500 verfügt über ein verbessertes Reaktionskammerdesign, das eine überlegene Prozessgleichförmigkeit und eine genaue Temperaturregelung innerhalb der Kammer ermöglicht. Die Kammer ist mit einer automatischen Reinigungsmaschine ausgelegt, die Ausfallzeiten reduziert und die Produktivität erhöht. Die hocheffiziente und robuste Leistungssteuereinheit (PCU) von Endura 5500 wurde entwickelt, um einen präzisen, stabilen und wiederholbaren Betrieb zu gewährleisten. Die PCU ermöglicht die Feinabstimmung der HF- und DC-Parameter des angewendeten Prozesses. So können Anwender ihre Prozesseinstellungen schnell optimieren. Das fortschrittliche Gasliefermodul ENDURA 5500 sorgt für eine einheitliche und wiederholbare Steuerung verschiedener Prozessgasströme. Dieses Modul ermöglicht es Benutzern, den Gasdurchsatz und den Druck genau zu steuern und so genaue und wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 verfügt über ein automatisiertes Software-Tool zur einfachen Prozesssteuerung und Asset-Optimierung. Die Software bietet auch abstimmbare Prozessparameter und ermöglicht es Benutzern, vorprogrammierte Rezepte zu implementieren. Dies hilft Benutzern, Rezepte schnell zu ändern und eine schnelle Prozessoptimierung zu ermöglichen. AMAT Endura 5500 ist ein vielseitiges Modell, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Prozessanforderungen zu bearbeiten. Mit seinen fortschrittlichen Fähigkeiten ist diese Ausrüstung perfekt für die Herstellung von Hochleistungsgeräten. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 Reactor ein fortschrittliches und leistungsstarkes System, das hervorragende Leistung für eine breite Palette von Materialbearbeitungsanwendungen bietet. Seine fortschrittliche Architektur, effiziente Leistungssteuerung und automatisierte Softwareeinheit machen es zu einem idealen Werkzeug, um hohe Produktivität und Präzisionsergebnisse zu erzielen.
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