Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9217151 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9217151
System
(3) Process chambers
Preclean (CHC)
(2) Degas chambers
(4) Cryo pumps
Parts included:
Qty / Description
(2) / Degas lamps assy
(1) / Ion gauge pump supply
(1) / 24V Power supply
(1) / Relay control board
(2) / ISO / AMP Boards
(2) / 3 Phase cryo controllers
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein Hochleistungsreaktor zur Behandlung komplexer Materialbearbeitung im Halbleiterherstellungsprozess. Die 5500 ist eine hochentwickelte Ausrüstung, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Prozessen wie chemische Dampfabscheidung (CVD), Atomschichtabscheidung (ALD) und Remote-Plasmaätzen (RPE) durchzuführen. Es bietet eine enge Prozesssteuerung für jede Anwendung mit niedrigem Druck, hohen Abscheideraten und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit. Der 5500 ist für hohe Produktionsausbeute und maximale Kosteneffizienz ausgelegt. Es verwendet direkte keramische Heizung und aktive Pitch-Steuerung, um schnelle Erwärmungszeit und ausgezeichnete Prozeßwiederholbarkeit bereitzustellen. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Kühlsystem mit optimierter Wärmeabfuhr aus der Reaktionskammer, um thermische Schäden am Substrat zu verhindern. AKT Endura 5500 verfügt zudem über eine integrierte HF-Leistungseinheit für induktiv gekoppelte Plasmaanwendungen. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Plasmaleistung, die fortschrittliche Ätzprozesse bei reduzierter Leistung und niedrigen Schadensabscheidungsraten ermöglicht. Der 5500 ist mit einer fortschrittlichen Handhabungsmaschine ausgestattet, die ein schnelles Be- und Entladen von Substraten, schnellere Zykluszeiten und einen verbesserten Durchsatz ermöglicht. Es verfügt auch über eine umfassende Suite von Anwendungsfunktionen, einschließlich Ätzen, Abscheiden und Implantation. Das Tool verfügt über Vorlagen für jede Anwendung, die eine sichere und wiederholbare Verarbeitung mit wenig Eingriff des Bedieners ermöglichen. AMAT ENDURA 5500 ist ein leistungsstarkes und zuverlässiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung und bietet Anwendern verbesserte Ausbeute und Kosteneffizienz. Es verfügt über eine überlegene Prozesswiederholbarkeit, eine präzise Kontrolle der Plasmaparameter und eine Reihe von Anwendungsfähigkeiten. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und zuverlässiger Leistung ist der 5500 eine ideale Wahl für die Halbleiterverarbeitung.
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