Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9221707 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9221707
Weinlese: 1993
PVD System
Chambers:
(4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al)
(2) Degas chambers
(1) Preclean chamber
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS Valve 8112095
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
MKS Type 627 Pressure Transducer
Endura Wafer Lift Assembly 101 Rev. 003 0010-70271
8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140)
Endura Wafer Lift Assembly Preclean 2 Rev. 003, 21902-08
MKS Type 627 Pressure Transducer
0010-20277
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
Gas Box #1 0010-20217 Rev. B
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
Loadlock A (11)
Loadlock B (0620-01049)
Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D
ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M
Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A
Gas Box #2 0010-20218 Rev. B
Gen Rack #1
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12-650
ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650
Gen Rack #2
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
Gen Rack #3
ADVANCED ENERGY LF10A
COMDEL RF Power Source CPS-1001S
GRANVILLE-PHILLIPS Ionization Gauge Supply 332102
15V PS Assembly
24V PS Assembly
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
Thornton 200CR
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001
NESLAB BOM # 327099991701
EBARA A30W
EBARA A70W
HARMONIC GEAR UGH50-28
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1
GEORG FISCHER V 82
Supply voltage: 480 VAC, 3 phase, 50/60 Hz
Max system rating: 150 kW
Largest load ampere rating: 42 A
Interrupt current: 10,000 Amps IC
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist eine großflächige Plasmabearbeitungsanlage für die Halbleiterindustrie. Dieses System kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Wafern, einschließlich Silizium und Saphir, durch Plasmaätzen und Abscheiden zu behandeln. Es kann auch für eine Vielzahl anderer Zwecke wie Barriereschichten, Oxidschichten und Dünnschichtstapel verwendet werden. AKT Endura 5500 ist eine freistehende, vollständig integrierte Einheit, die eine Prozesskammer, Gasschränke und Prozesskontrollmodule enthält. Dies ermöglicht eine unabhängige Steuerung mehrerer Funktionen einschließlich Druck-, Gas- und Leistungseinstellungen, wodurch der Prozess genau auf bestimmte Anwendungen zugeschnitten werden kann. Die Maschine enthält auch mehrere Abschirmmaterialien, um Benutzer vor den hohen Spannungen und Temperaturen in der Umgebung des Werkzeugs zu schützen. Die Anlage wurde entwickelt, um Temperatur, Leistung und Gasfluss der Prozesskammer mit hoher Genauigkeit zu steuern. Die Leistungsstufen reichen von 300W bis 5000W, was eine Vielzahl von Prozesseinstellungen ermöglicht. Die Kammertemperatur wird zwischen 1033 C und 1133C gehalten, während der Druck von 0,002 Torr bis 760 Torr reichen kann. Zusätzlich kann der Durchfluss der Kammer zwischen 0,18 Liter/Minute und 15 Liter/Minute liegen. AMAT ENDURA 5500 bietet mit seinem Ionen- und Neutralpartikel-Massenspektrometer (IPMS) auch eine In-situ-Analyse in Echtzeit. Dies ermöglicht dem Bediener die Überwachung der Plasmaumgebung und ermöglicht eine präzise Steuerung des Prozesses. Darüber hinaus verfügt das Modell über ein verbessertes Prozesssteuerungsmodul, das eine verbesserte Gerätediagnose und Prozessoptimierung bietet. Darüber hinaus bietet AKT ENDURA 5500 verbesserte Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines Fehlererkennungssystems und einer Schutzgashülle, um jeden Spillover zu enthalten. Dies gewährleistet die Sicherheit des Personals und die Integrität des Prozesses. ENDURA 5500 ist eine effiziente thermische Verarbeitungseinheit, die eine präzise Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit ermöglicht. Es ist die ideale Wahl für die Herstellung und Integration von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen. Es bietet eine robuste, kostengünstige Lösung für Prozesse wie Ätzen und Abscheiden von Siliziumscheiben. Mit der Echtzeit-in-situ-Analyse und dem Einstellungsspektrum ist die Maschine ideal für eine Vielzahl von Anwendungen.
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