Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228344 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9228344
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
PVD System, 8"
Wafer shape: SNNF
Umbilical length: 25Ft
Front panel type: Painted
Light tower: R / Y / G
Buffer robot: HP + metal blade
Transfer robot: VHP with metal blade
Chamber F: Orienter / Degas
Chamber E: Orienter / Degas
Chamber C: Pre clean 2e
Chamber B: Cool down
Chamber A: Pass through
Chamber 1: Standard body AL4 finger
Chamber 2: SIP_TTN with bias ESC
Chamber 4: TN_Durasource_TTN A101
Includes:
Main body
Chiller
Rack 1
Rack 2
AC Power box 2
AC Power box 1
Cryo compressor / Totes
System power: Variable / 150 kVA
Transformer type: Variable / 150 kVA, 480V - 380V
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein fortschrittliches Bearbeitungshalbleiterwerkzeug, das für hochproduktives Ätzen und Abscheiden ausgelegt ist. Das Gerät bietet eine hohe Reproduzierbarkeit, hohe Gleichmäßigkeit und die höchste Produktivitätsrate in seiner Klasse. Das Werkzeug verfügt über zwei unabhängige Kammern, die simultane Ätz- und Abscheideprozesse sowie einen Remote-Plasmaquellenbetrieb ermöglichen, um zusätzliche Flexibilität zu bieten. Die eingebaute Prozessüberwachungssoftware ermöglicht es dem Bediener, beide Kammern gleichzeitig zu regeln, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Die AKT Endura 5500 ist mit einer hochmodernen Multicontroller-Architektur ausgestattet, die die vielfältigen Funktionen Ätz- und Abscheidefunktionen in einem integrierenden System integriert. Die ETCH&DEPOSITION (E&D) Abgas- und Prozesskammern werden gemeinsam genutzt, was hohe Erträge und eine lange Lebensdauer der Kammer gewährleistet. Das Gerät verfügt zudem über eine Temperaturregelung, die bei der Einhaltung genauer Temperaturen während der Ätz- und Abscheideprozesse hilft. AMAT ENDURA 5500 ist mit einer Vielzahl von Spezialmerkmalen gebaut, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Es ist mit einer AutoGas™ automatisierten Gasliefermaschine ausgestattet, die eine inkrementelle Verdünnungssteuerung und reduzierte manuelle Arbeit während der Prozessentwicklung bietet. Das Werkzeug bietet auch Niederdruck-Waferübertragung, die optimiert wurde, um das Risiko der Erzeugung von Wafer-Partikeln zu minimieren. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA 5500 ist ein ausgezeichnetes Werkzeug zur Herstellung ultradünner Materialschichten mit präzisen Dicken und Dichten aufgrund seiner Leistungsabscheidungsfähigkeit mit hoher Dichte. Der Vermögenswert ist auch hinsichtlich seiner Materialausnutzung sehr effizient, was ein großer Vorteil für Kosteneinsparungen ist. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 wurde zum erfolgreichen Ätzen und Abscheiden von Materialien wie Polysilizium, Siliziumoxid, Aluminium und Kupfer verwendet. Es bietet Anwendern eine wirtschaftliche Lösung für ihre Anforderungen an die Halbleiterproduktion sowie zuverlässige Leistung. Die langfristige Zuverlässigkeit und Problemlösungsfähigkeit des Werkzeugs machen es zu einer großen Wahl für produktionsorientiertes Arbeiten.
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