Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9242650 zu verkaufen
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ID: 9242650
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Sputtering system, 8"
Robot: HP (Buffer and transfer)
(3) Chambers
Load lock: Wide
Component included:
NESLAB Chiller
(2) CTI 9600 Compressor cryo
Pump: CTI OB 8F 3PH Enhanced
Chamber: PVD 4
Chamber E and F: Orient degass
1996 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist ein modernster, fortschrittlicher PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) Reaktor. Dieser Reaktor wurde entwickelt, um hochwertige Materialien als dünne Filme abzuscheiden und ist somit ideal für Anwendungen wie Halbleiterprozesse und die Herstellung von Speicherbauelementen. AKT Endura 5500 verfügt über eine einzigartige Zweifrequenz-Hochfrequenz (RF) -betriebene Substratvorspannung, die eine präzise Kontrolle der Abscheidung von dielektrischen Materialien ermöglicht. Es ist auch mit einem leistungsstarken dynamischen HF-Stromversorgungssystem ausgestattet, das eine sofortige Reaktion auf sich ändernde Prozessbedingungen bietet und konsistente, wiederholbare Prozessergebnisse gewährleistet. AMAT ENDURA 5500 wurde entwickelt, um maximale Produktivität, Wiederholbarkeit und Konformität zu bieten. Es verfügt über eine patentierte Catalyst® -Technologie, die mehrere HF-Quellen mit einer optimierten Sekundärkammer für eine verbesserte Gleichmäßigkeit, Dicke und Zusammensetzungskontrolle unterstützt. Die Plasmakammer ist für eine extrem geringe Verlustleistung ausgelegt, so dass sie mit höheren Spitzenleistungen laufen kann und gleichzeitig die Möglichkeit von Wärmeauslenkungen reduziert wird. Darüber hinaus ermöglicht die Substratvorspannung eine höhere Präzision und Genauigkeit bei der Abscheidung dielektrischer Filme. AKT ENDURA 5500 ermöglicht hohe Abscheideraten bei überlegener Schichtdicke auf mehreren Substraten. Es verfügt über einen digitalen Kammerdruckregler zur präzisen Steuerung der Substrattemperatur und des Gasflusses. Das fortschrittliche Gasfördersystem sorgt für präzise Gasgemische und eine ordnungsgemäße Lieferung. Das Mehrpunkt-Thermoelement und die Sensoranordnung ermöglichen die Echtzeit-Überwachung von Substrattemperatur und Gleichmäßigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 ist für maximale Prozessbreite und Kontrolle ausgelegt. Seine digitalen I/O-Ports bieten Echtzeit-Steuerung und Überwachung aller wichtigen Prozessparameter. Es verfügt über ein Auto-Tuning-System für die einfache und zuverlässige Abstimmung von HF-Shift-Frequenzen und -Phase, so dass maximale Perfomance während des gesamten Prozesses. ENDURA 5500 wurde speziell entwickelt, um die heutigen anspruchsvolleren Anforderungen an die Halbleiterherstellung zu erfüllen. Es bietet hochwertige Materialabscheidung durch wiederholbare und zuverlässige Verarbeitung für eine bessere Geräteleistung. Der Reaktor wurde von AMAT/APPLIED MATERIALS als konform mit der SEMI C39 Richtlinie für die Standardkonstruktion und Fertigung von Halbleiterherstellungsgeräten zertifiziert.
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