Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9257279 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9257279
Weinlese: 1993
PVD System
Chambers:
(4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al)
(2) Degas chambers
(1) Preclean chamber
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS Valve 8112095
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
MKS Type 627 Pressure transducer
Endura Wafer lift assembly 101 Rev. 003 0010-70271
8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140)
Endura Wafer lift assembly preclean 2 Rev. 003, 21902-08
MKS Type 627 Pressure transducer
0010-20277
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
Gas Box #1 0010-20217 Rev. B
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
Loadlock A (11)
Loadlock B (0620-01049)
Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D
ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M
Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A
Gas Box #2 0010-20218 Rev. B
Gen Rack #1
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12-650
ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650
Gen Rack #2
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
Gen Rack #3
ADVANCED ENERGY LF10A
COMDEL RF Power Source CPS-1001S
GRANVILLE-PHILLIPS Ionization gauge supply 332102
15V PS Assembly
24V PS Assembly
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
Thornton 200CR
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001
NESLAB BOM # 327099991701
EBARA A30W
EBARA A70W
HARMONIC GEAR UGH50-28
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1
GEORG FISCHER V 82
Supply voltage: 480 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
Max system rating: 150 kW
Largest load ampere rating: 42 A
Interrupt current: 10,000 Amps IC
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 ist eine hochwertige, automatisierte Reaktorausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Das System fungiert als vielseitige Produktionsplattform, die unterschiedlichste Prozessaufgaben bewältigen kann. Dazu gehören Abscheidung, Ätzen, Oxidation, Hydrierung und chemische Dampfabscheidung (CVD). Der Hauptrahmen der AKT Endura 5500 besteht aus einer integrierten Reinigungskammer, einem Gasmodul und einer temperaturgesteuerten Probenkammer. Die Reinigungskammer dient zur Inaktivierung der Kammerwände, bevor die anderen Prozesse beginnen. Das Gasmodul bietet eine gleichmäßige Versorgung mit Helium, Stickstoff, Argon und Sauerstoff. Die Temperatur des Probenträgers kann auf genaue Temperaturen von 30 ° C bis 400 ° C geregelt werden. Insgesamt ist AMAT ENDURA 5500 eine fortschrittliche Einheit, die Präzision, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit von einer einzigen Maschine kombiniert. Die Total Process Automation (TPA) ermöglicht es Betreibern, komplexe Prozesse mit einer einzigen Lösung zu überwachen, zu steuern und zu dokumentieren. Dies geschieht über seine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) und ein proprietäres PID-Steuerungstool. Der Process Controller des Asset bietet eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen wie Echtzeit-Prozessüberwachung, Rezepturverwaltung und integrierte Datenprotokollierung. Darüber hinaus ist das Modell mit Prozessautomatisierungsfunktionen ausgestattet, die eine Formeloptimierung und Entwicklung neuer Prozesse ermöglichen. ENDURA 5500 ist mit einer hohen Wiederholbarkeit gebaut, die benötigt wird, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Die Kammerwände sind verschmutzungsbeständiger gestaltet, so daß von einer Sitzung zur nächsten die gleichen Ergebnisse erzielt werden können. Endura 5500 ist eine zuverlässige High-End-Reaktorausrüstung, die für die Halbleiterproduktion optimiert ist. Die automatisierten Prozesse, Prozesssteuerungsfunktionen und Datenerfassungssysteme machen es zu einer idealen Wahl für unternehmenskritische industrielle Anforderungen. Mit seiner Kombination aus Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und Prozessoptimierung ist APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 ein echtes Juwel auf seinem Gebiet.
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